公开(公告)号：CN110770892A

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：CN201880041711.X

申请日：2018-05-30

Applicant: 三井化学东赛璐株式会社

Inventor： 林下英司

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H01L23/12

Abstract: 本发明的目的在于提供能够将部件保持膜在加热下正常地吸附固定于卡盘台的部件制造装置和部件制造方法，本部件制造装置1具备：在经加热的吸附面21a上吸附固定部件保持膜的吸附固定单元20、以及阻止在吸附面21a产生的热对流撞击部件保持膜的阻止单元30。本部件制造方法具备在经加热的吸附面21a上吸附固定部件保持膜的设置工序，设置工序包含阻止在吸附面21a产生的热对流撞击部件保持膜的阻止工序。

公开(公告)号：CN105073931A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201480017966.4

申请日：2014-03-25

Applicant: 三井化学东赛璐株式会社

Inventor： 林下英司

IPC: C09J7/02 ,  H01L21/301

CPC classification number: C09J7/0235 ,  C09J7/20 ,  C09J7/405 ,  C09J123/142 ,  C09J123/20 ,  C09J2201/28 ,  C09J2203/326 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/78 ,  H01L2221/68327

Abstract: 本发明的目的是提供一种精度良好地预切割加工成规定形状的叠层膜的制造方法，所述叠层膜具有：长条状脱模膜，及设置于其上且包含沿着长度方向而相互邻接的岛状粘着膜A和岛状粘着膜B的多个岛状粘着膜，所述制造方法包括：获得具有脱模膜与粘着膜的长条状叠层体的工序；将该叠层体的粘着膜预切割而获得第一剥离部的工序；将第一剥离部从脱模膜剥离的工序；第一剥离部包含：岛状粘着膜A的脱模膜的宽度方向一端侧的周缘部A1、岛状粘着膜B的脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部B2、及将周缘部A1与周缘部B2连接的连接部C，且不含岛状粘着膜A的脱模膜的宽度方向另一端侧的周缘部A2与岛状粘着膜B的脱模膜的宽度方向一端侧的周缘部B1。