公开(公告)号：CN111534800B

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN202010363526.1

申请日：2020-04-30

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 ,  广东欧莱高新材料股份有限公司

Inventor： 文宏福 ,  李培林

IPC: C23C14/34 ,  B22F5/00 ,  B22F3/02 ,  B22F3/10 ,  B22F3/15 ,  B22F3/17

Abstract: 本发明公开了一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法，包括1)粉末造粒步骤、2)热等静压步骤、3)热变形步骤和清洗加工步骤。通过本发明的制备方法，制造出组织成分均匀、平均晶粒度小、含氧量低、纯度高和密度高的大尺寸靶材，本发明的制备方法制备的大尺寸靶材满足溅射靶材的镀膜要求。

公开(公告)号：CN111451314A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN202010251321.4

申请日：2020-04-01

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 ,  韶关市欧莱高新材料有限公司

Inventor： 文宏福 ,  吴本明 ,  张中美

IPC: B21C37/08 ,  B21J5/00 ,  B21J5/06 ,  B21J5/08 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明公开了一种高纯铜旋转靶的制备方法，包括1)坯锭预处理步骤、2)精密制管步骤、3)靶材复合结构加工与焊接和4)靶材稳定化处理步骤。通过本发明的高纯铜旋转靶的制备方法，得到的晶粒组织均匀，晶粒细化，旋转靶结构稳定性强。

公开(公告)号：CN111304605A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN202010157218.3

申请日：2020-03-09

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 陈明恒

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  C23C4/08 ,  C23C4/16

Abstract: 本发明公开了一种ITO旋转靶绑定方法，与现有技术相比，该绑定方法通过自动超声涂铟设备、半自动旋转靶氧化皮去除装置以及分节加热装置分别参与各个ITO靶管的金属化预处理步骤、氧化皮去除步骤以及绑定焊接步骤，尽可能减少了人工操作以及人工失误，提高生产车间内的安全系数，以及生产效率，保证每一节ITO靶管的绑定条件相同，以提高整靶性能的均匀性，提高产品的良品率。

公开(公告)号：CN110359021B

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201910774125.2

申请日：2019-08-21

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 陈明恒

IPC: C23C14/34 ,  B23K37/00 ,  C25D5/06 ,  C25D7/04

Abstract: 本发明公开了一种改进预处理的靶材绑定方法，包括a、预处理前步骤、b、背管预处理步骤、c、金属靶管预处理步骤、d、绑定步骤，通过本发明的一种改进预处理的靶材绑定方法，有效提高旋转靶绑定前预处理效果，提高旋转靶绑定质量。

公开(公告)号：CN110523791A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910742563.0

申请日：2019-08-13

Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 ,  东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 吴本明 ,  文宏福

IPC: B21C23/00 ,  B21C31/00 ,  B21C37/06 ,  C22F1/057

Abstract: 本发明提供了一种铝铜合金管件的制造方法，包括以下步骤：S1、将铝铜合金锭坯进行加热、保温处理；S2、在真空条件下，采用分流模挤压机将步骤S1所得铝铜合金锭进行挤压处理，挤压温度为360～400℃，制得铝铜合金管坯件；S3、将步骤S2所得的铝铜合金管坯件进行固溶、冷却和时效处理，制得铝铜合金管件成品。与现有技术相比，采用本发明所述铝铜合金管件的制造方法，最终得到铝铜合金管件内部组织均匀、致密、晶粒细小，无裂纹缺陷，且具有优良的综合力学性能，大大提高了成品合格率；铝铜合金管件的纯度≥99.99％，平均晶粒为150～200μm，具有较高的生产质量指标，满足产品要求。

公开(公告)号：CN110484876A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910774842.5

申请日：2019-08-21

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 文锋

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明公开了一种平面靶的校平方法，包括A、检测步骤、B、校平步骤、B1、校平准备子步骤、B2、校平子步骤和C、校平等待步骤。本发明的平面靶材的校平方法，校平精度高，校平时间短，成品率高，提高生产效率。

公开(公告)号：CN110373647A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201910774843.X

申请日：2019-08-21

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 陈明恒

IPC: C23C14/35 ,  B22D19/16 ,  B22D27/04 ,  B22D27/08 ,  C23C26/00 ,  C25D5/06 ,  C25D5/38 ,  C25D7/04 ,  C25D17/00

Abstract: 本发明公开了一种长管旋转靶绑定方法，包括a、预处理前步骤、b、靶材整管与背管预处理步骤、c、组装步骤、d、绑定步骤和e、冷却步骤。本发明的一种长管旋转靶绑定方法，可以一次整管绑定旋转靶，靶材绑定焊合率高，产品质量好。

公开(公告)号：CN107953084B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201711187569.3

申请日：2017-11-24

Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 ,  东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 周纪平 ,  文宏福

IPC: B23P15/00

Abstract: 本发明涉及一种高纯铝旋转靶材的制造方法，包括步骤：选取高纯铝圆锭，对其进行热穿孔挤压处理，得到高纯铝管坯；然后进行矫直、退火处理；选取铝合金为靶材端头材料，对其进行表面硬质氧化处理，得到铝合金端头；将高纯铝管坯铝合金端头进行焊接，得到高纯铝旋转靶材。通过本发明制得的高纯铝旋转靶材，其显微组织内部的裂纹、气孔、疏松、夹杂、分层等缺陷大大较少，显微组织细小均匀，晶粒度尺寸不大于100微米；其通过氦质谱测漏仪测量的泄漏率数值≤5×10‑10Pa·m3/s；其长度、宽度和厚度方向的尺寸公差以及整体平面度形位公差低至0.05mm，表面粗糙度小于Ra 0.4μm，加工精度满足用户要求。

公开(公告)号：CN109940350A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201910259659.1

申请日：2019-04-02

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 张益

IPC: B23P15/00 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明涉及靶材加工领域，特别是涉及一种等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，本发明包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。本发明通过上述加工方法，实现加工简单、产品质量好、工作效率高等目的。

公开(公告)号：CN109940066A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201910203684.8

申请日：2019-03-18

Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

Inventor： 伍温良

IPC: B21D3/00 ,  B21D37/16 ,  B21C51/00 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明公开了一种高纯铜旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铜合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铜旋转靶转动，通过校直测量装置测量铜合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铜合金端头进行加热，铜合金端头加热至规定温度，将半自动校直装置放置于外校直点处，半自动校直装置抵顶外校直点，校直测量装置放置于内校直点，人工操作半自动校直装置，直至校直测量装置内的指针活动值达到校直值，停止加热装置加热，高纯铜旋转靶冷却至室温，对高纯铜旋转靶的校直进行检查，直至校直值≤0.3mm。本发明的校直方法，高纯靶材管不变形，校直效果好不反弹，校直精度高，成品率高。