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公开(公告)号：CN109186435B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201810890253.9
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感，首先采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果，据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN111734780A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010606309.0
申请日：2020-06-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于轴向磁化磁环负刚度结构的超低频空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域，包括双腔室空气弹簧隔振器和负刚度磁弹簧，负刚度磁弹簧同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内，主气室的底部设置环形橡胶垫，主气室与附加气室之间均匀设置2～10个节流孔；负刚度磁弹簧由沿轴向同向磁化、轴向高度中心处于同一水平线上的内定磁环、动磁环和外定磁环同轴嵌套构成；本发明固有频率低，阻尼系数大，集成度及稳定性高、可以避免冲击扰动激励导致动磁环与主气室底部产生刚性碰撞，实现精密仪器设备的低频/超低频隔振效果。
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公开(公告)号：CN111677811A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010606308.6
申请日：2020-06-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于磁斥力正负刚度并联的三自由度电磁隔振装置属于精密隔振技术领域，X向磁弹簧与Y向磁弹簧垂直布置，并与Z向正刚度弹簧并联连接，实现三自由度的正负刚度结构并联；X向磁弹簧由第一定磁铁、第一动磁铁、第二动磁铁和第二定磁铁沿水平X轴依次阵列构成，Y向磁弹簧由第三定磁铁、第三动磁铁、第四动磁铁和第四定磁铁沿水平Y轴依次阵列构成；本发明结构设计简单灵活、磁材料利用率高，能实现精密仪器设备的三自由度低频/超低频隔振效果。
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公开(公告)号：CN108627234B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201810208083.1
申请日：2018-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 速度预估激光测振相位解调方法属于激光测振技术领域；该相位解调方法包括以下步骤：对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正，计算相位序列，计算初始位移，预估速度、位移、相位整数项和相位小数项，根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移，实现相位解调；本发明可解决零差激光干涉测振技术中传统相位解调方法在高速振动测量时存在的采样频率过高和数据量过大的问题，可有效提高振动测量速度，降低硬件成本和扩大激光测振仪应用范围。
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公开(公告)号：CN108801435A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810208123.2
申请日：2018-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 基于速度、加速度复合预估相位解调的高速激光测振仪属于激光测振技术领域；该测振仪包括干涉部分、探测部分和数据采集处理部分，数据采集处理部分由第一差分放大器、第二差分放大器和计算机组成，所采用的速度、加速度复合预估相位解调方法包括以下步骤：对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正，计算相位序列，计算初始位移，预估速度、加速度、位移、相位整数项和相位小数项，根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移；本发明为解决高速激光测振中存在的采样频率过高、数据量过大的问题提供了一种技术解决方案，可有效提高振动测量速度，降低硬件成本和扩大测振仪应用范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108051165A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201711020274.7
申请日：2017-10-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于绝对位置反馈实现主动正刚度弹性支撑的电磁振动台属于振动计量技术领域；提出一种主动正刚度弹性支撑方法，采用绝对式直线光栅尺作为反馈位移传感器，输出与绝对零点位置的相对位移成恒定比例的洛伦兹力，从而使电磁振动台动圈在大行程运动时具有线性刚度的弹性支撑；电磁振动台动圈串联多级功率电阻，增大负载阻抗，使功率放大器在输出毫安级超低频电流时具有较高的信噪比；本发明可兼顾大行程、线性弹性支撑、高信噪比，为超低频振动校准提供一种大行程高性能电磁振动台控制技术方案。
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公开(公告)号：CN107992127A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711095898.5
申请日：2017-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D23/30
Abstract: 基于动态热容滤波的高精度恒温循环冷却水装置属于精密温控领域。采用基于半导体制冷片阵列的制冷模块实现制冷功能，通过电功率调节形式精确、快速调节制冷功率，采用具有翅片结构并浸没在循环水中的电加热器实现快速、精确加热功率调节，两者配合温度传感器和控制器实现循环水温度精确、快速闭环调节；在主动温度闭环反馈控制的基础上增加了动态的温度波动抑制模块，将一部分循环水截流存储于热容滤波装置的一侧通道之中，并利用其热容对热容滤波装置另一侧通道中的循环水进行温度波动抑制，提高冷水机供水温度稳定性，且截流的循环水可按需实时更新，具备动态特性。
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公开(公告)号：CN104897272B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201510340553.6
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 无正交误差的双路圆偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过两个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交、光路重合的圆偏振参考光和圆偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从光路结构与原理上具有抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104880244B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510341861.0
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪属于激光干涉测量领域；采用消偏振分光镜NBS分光形成参考臂和测量臂，参考臂上的入射光束经过声光调制器发生衍射，移频的一级衍射光通过光束折转元件调整，使光束传播方向平行于入射光束；通过调整参考角锥棱镜使反射光位于声光调制器上方，从而使参考光只经过一次声光调制器，调节测量角锥棱镜使参考光和测量光再次经过消偏振分光镜NBS时光束重合，并发生干涉；本发明采用较少的光学元件实现了外差激光干涉测量，光路调整简单，可有效解决现有技术方案中存在偏振泄漏与偏振混叠、光路调整复杂等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104865032B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510236217.7
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的长永磁管向心励磁圆柱形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部进行励磁，永磁管内表面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁场分布，中心磁轭上均匀地绕有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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