混合光刻系统及混合光刻方法

    公开(公告)号:CN106681106B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201710206374.2

    申请日:2017-03-31

    CPC classification number: G03F7/70383 G03F7/70408 G03F7/7045

    Abstract: 一种混合光刻系统,包括光源、光束整形器、光场调制器、反射镜、成像光学系统和位相器件,光束整形器用于整形光源发出的光束;光场调制器用于将整形后的光束生成图形光;成像光学系统和反射镜用于将光场传递至待曝光的光刻件表面实现直写光刻;位相器件用于在光刻件的表面形成干涉曝光场实现干涉光刻。本发明的混合光刻系统具有直写光刻和干涉光刻两种功能,可进行混合光刻,提高了纳米光刻效率,推动微纳结构相关的器件和材料应用具有重要意义。本发明还涉及一种的混合光刻方法。

    一种三维多孔石墨烯超薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN108445166A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810532912.1

    申请日:2016-10-27

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明公开了一种三维多孔石墨烯超薄膜及其制备方法,经带负电多孔石墨烯分散液的制备、带正电多孔石墨烯分散液的制备三维多孔石墨烯超薄膜。本发明所得到的多孔石墨烯超薄膜制备的气敏传感器对DMMP气体分子具有极高的灵敏度。此制备方法工艺简单,适合于传感器的大量制备。

    一种具有齿形入光面的导光板
    296.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107065060A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201611270171.1

    申请日:2016-12-30

    CPC classification number: G02B6/002

    Abstract: 本发明提供了一种具有齿形入光面的导光板,其包括导光板体,导光板体的相对两面分别形成第一板面和第二板面,第一板面上设置有随机且疏密分布的微结构点,导光板体的多个侧面中,至少一侧面上设置有多个依次平行排列的第一齿条,第一齿条沿着导光板体的高度方向延伸,每相邻的两第一齿条之间构成第一齿槽,多个第一齿条和第一齿槽构成入光面。本发明与现有技术相比,增加了入光面的接触面积,进而增加了从入光面进入导光板体的光能量,同时还可以改善LED与导光板体的入光面的接触角,减少入光端的光斑现象,并且减少留白区的宽度。

    一种投影物镜及三维显示装置

    公开(公告)号:CN106646884A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611270016.X

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种大视场投影物镜,包括分光器件、中继透镜组、分光组件。所述中继透镜组包含:非球面透镜组和一片纳米透镜,本发明在光学系统中引入设有衍射面的纳米透镜,用纳米透镜代替双胶合透镜可降低系统的重量。将本发明设计的投影物镜,与DMD、LCD或LCOS显示器件以及相应照明光源配合使用,将显示器件反射的光束收集在出瞳处,出瞳在投影结构外部,和后续的纳米波导镜片匹配,构建的三维显示装置,特别是近眼三维显示装置,具有显示大视场、高像质、光利用效率高特点。

    一种菲涅尔器件的制作方法及制作装置

    公开(公告)号:CN106646691A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611125124.8

    申请日:2016-12-09

    Abstract: 本发明提供了一种菲涅尔器件的制作方法,其包括以下步骤:1)图像3D建模;2)将建模后的3D图,按照菲涅尔的变化规律进行量化处理;3)通过等高投影或等宽投影进行像素微结构模拟;4)像素化拼接;5)通过光刻工艺至整个图像光刻完成;6)通过转移工艺将模板转移到应用材料上。本发明还提供了一种菲涅尔器件的制作装置。本发明与现有技术相比,可以实现任意形状的菲涅尔器件;且尺寸不受限制,通过拼版等工艺,可以做大尺寸的菲涅尔器件;且该方法降低了成本。

    一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台

    公开(公告)号:CN104362890B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410719608.X

    申请日:2014-12-01

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明公开了一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台,所述平台包括底板、位于底板上的支撑模块、对称安装于支撑模块两侧的两个运动模块,每个所述运动模块包括配重块、压电陶瓷致动器及主质量块,所述压电陶瓷致动器包括正极和负极,压电陶瓷致动器正极和负极用于与驱动信号相连,所述驱动信号为线性电压和非线性电压的组合,其中非线性电压的变化率逐渐增大。本发明的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台结构简单、能够实现快速大行程的精密定位、容易实现多自由度驱动、并且不需要专门的位置保持装置。

    Z轴正向放大一维精密定位平台

    公开(公告)号:CN104505127B

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201410784696.1

    申请日:2014-12-16

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明公开了一种Z轴正向放大一维精密定位平台,其包括:基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构;放大机构包括:柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部;运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠,另一侧形成平台承载面;压电陶瓷设置于第一连接部和第二连接部之间,压电陶瓷一端与预紧机构相抵靠,另一端与固定部向抵靠;预紧机构设置于一端的固定部中,预紧机构包括预紧螺母和钢珠,钢珠与压电陶瓷相抵靠,预紧螺母通过钢珠为压电陶瓷提供预紧力。本发明的Z轴正向放大一维精密定位平台具有行程范围大、高精度、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、极高分辨率、纳米级、适宜作微动平台等优点。

Patent Agency Ranking