一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法

    公开(公告)号:CN111705304A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010655206.3

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本发明的设备和方法,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。

    一种具有盐度检测功能的锅具
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118340413A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410449218.9

    申请日:2024-04-15

    Abstract: 本发明公开一种具有盐度检测功能的锅具,包括内胆、盐度传感器、电源电路、信号采集及处理模块、显示模块;在内胆的下部形成有第一通孔;盐度传感器包括承托件、电极组;承托件与第一通孔安装适配,并固定安装在第一通孔中;承托件的内侧面与内胆的内侧面连接吻合;电极组包括第一电极、第二电极、第三电极、第四电极,其均为铂和/或银和/或镍通过丝网印刷形成于承托件的内侧面上,相对依次排列;电源电路包括交流模块,其分别与第一电极、第四电极连接,为盐度传感器提供交流电;信号采集及处理模块分别与第二电极、第三电极连接,接收其测得的第一电压差信号并转换为盐度值。本发明实现内胆内无凸出探头测量盐度,提高使用方便性及美观性。

    一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法

    公开(公告)号:CN111705304B

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202010655206.3

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本发明的设备和方法,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。

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