具有改进的关态电压控制的MEMS开关

    公开(公告)号:CN101465242A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810185380.5

    申请日:2008-12-22

    CPC classification number: H01H59/0009 H01H1/0036

    Abstract: 本发明涉及具有改进的关态电压控制的MEMS开关。提供了一种MEMS开关(20,30,40),其包括衬底(28)、耦合到该衬底(28)并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器(22,32,132)、第一固定电极(24)和第二固定电极(27,37,47),该第一固定电极(24)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22,32,132)的第一侧部上以产生第一驱动力来将该可动执行器(22,32,132)拉向导电状态,该第二固定电极(27,37,47)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22,32,132)的第二侧部上以产生第二驱动力来将该可动执行器(22,32,132)拉向非导通状态。

    基于微机电系统的可堆叠开关模块

    公开(公告)号:CN101226835A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200710305186.1

    申请日:2007-11-28

    Abstract: 本发明涉及基于微机电系统的可堆叠开关模块。本发明提供包含至少一个开关模块的系统,其包括:开关电路,包括至少一个微机电系统开关,用于响应于施加到开关上的门控信号而选择性地建立从开关的输入线路到输出线路的电流路径;耦合于开关电路以为微机电系统开关提供门控信号的控制电路;以及耦合于控制电路和开关电路的电源电路,其中该电源电路包括彼此电隔离的输入端子对和输出端子对,通过输入端子对接收的模块功率输入信号电气上参考开关的输入线路,并且通过输出端子对提供的模块功率输出信号电气上参考开关的输出线路,使得当所述开关设置到打开状态时,模块输出功率信号不受在微机电系统开关的输入和输出线路两端形成的电压的影响。

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