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公开(公告)号：CN204202629U
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201420432052.1
申请日：2014-08-02
Applicant: 软控股份有限公司
IPC: G01D5/56
Abstract: 本实用新型公开了一种声表面波谐振器型阻抗传感器以及阻抗检测系统,所述声表面波谐振器型阻抗传感器包括第一天线、匹配网络、反射栅、以及叉指换能器，至少所述反射栅以及叉指换能器设置在压电基片上，所述匹配网络包括由至少一个电容和至少一个电感组成的最佳匹配网络，所述最佳匹配网络还并联有外部传感器，所述外部传感器为电容式或者电感式传感器。本声表面波谐振器型阻抗传感器通过将外部传感器接入匹配网络中，不改变压电基片的结构与布置，因此不会影响传感器的感知性能；而且不会带来设置引脚等所增加的工艺步骤和复杂度；此外，外部传感器可以集成于匹配网络中，集成度高，进一步减少封装结构，减小了传感器整体体积。
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