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公开(公告)号:CN1345085A
公开(公告)日:2002-04-17
申请号:CN01131737.X
申请日:2001-09-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L21/66 , H01L21/027 , G03F1/16 , G03F7/00
Abstract: 一种涉及微机械和微电子领域的用于标定单晶硅晶圆晶向的方法。通过一套精心设计的比对图案和随之而进行的预刻蚀加工,将晶圆的晶向清晰地暴露出来,通过观察不同的比对图案所形成的刻蚀结果,可以将晶圆的晶向标定误差控制在±0.1°之内,采用数字图象处理技术对刻蚀结果作进一步的处理,则该标定精度还可以提高到±0.05°或者更高的水平。
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公开(公告)号:CN201199195Y
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN200820028418.3
申请日:2008-02-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01M13/02
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转机械振动监测与诊断领域的多故障耦合齿轮箱模拟实验台,能够全面地、客观地、方便地模拟齿轮设备的若干典型故障,如偏心、点蚀、剥落、齿面均匀磨损、齿根疲劳裂纹和断齿等;通过拨叉换位机构拨动齿轮的组合排列结果,还可以在运行中连续地观察两对齿轮的耦合故障信号以及齿轮从正常到发生故障的信号变化过程。此外,通过在轴承上设置故障,还可以模拟轴承故障以及齿轮-轴承耦合故障。大大方便了科研人员进行故障诊断方法的研究验证过程,缩短了理论运用到实践的时间,也节省了科研人员花费用于布置实验的时间和精力。此外,该多故障耦合齿轮箱模拟实验台还可运用于教学实践中,提高学习认知水平。
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公开(公告)号:CN201166597Y
公开(公告)日:2008-12-17
申请号:CN200820028419.8
申请日:2008-02-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本实用新型公开了一种轴系动平衡实验台,包括底座及其底座上的电动机、转子、连轴器、轴承座、传感器支座、转子上安装的加重盘,其特点是轴承座及传感器支座与底座上的三个定位面具有相应的配合面,以保障轴承座及传感器支座与底座之间的径向配合,该轴系动平衡实验台能够模拟挠性转子轴系的失衡强迫振动,有效再现大型旋转机械所产生的不平衡现象,用于转子动平衡理论及方法的研究。实验台的转速、轴系刚度、电涡流传感器类型以及联轴器的类型均可调整。实验台设计合理,定位方便准确,外形小巧美观,为振动测试及平衡研究工作者提供了一种有效而方便的实验手段。
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