公开(公告)号：CN101640210A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200910162578.6

申请日：2009-08-03

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 松本拓治 ,  田谷圭司 ,  舘下八州志 ,  糸长总一郎

IPC: H01L27/146 ,  H01L29/78 ,  H01L29/51 ,  H01L21/822 ,  H04N5/335 ,  H04N5/225

CPC classification number: H01L27/14614 ,  H01L27/14605 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/14612 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14689 ,  H01L29/51 ,  H01L29/518 ,  H04N5/335 ,  H04N5/378

Abstract: 本发明提供了一种固体摄像器件及其制造方法以及包括该固体摄像器件的摄像装置。所述固体摄像器件在半导体基板中包括：设有对入射光进行光电转换以得到电信号的光电转换部的像素部，以及设在像素部周围的周边电路部，其中周边电路部中的MOS晶体管的栅极绝缘膜由氮氧化硅膜构成，像素部中的MOS晶体管的栅极绝缘膜由氮氧化硅膜构成，并且在像素部中的光电转换部的正上方设有氧化物膜。本发明可以防止隧道电流的产生，从而改善周边电路部和像素部的晶体管特性。而且，由于可以防止因光电转换部中的固定电荷所致的白色缺陷和暗电流的恶化，所以优点在于改善了图像质量。

公开(公告)号：CN101582436A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200910142913.6

申请日：2009-05-13

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 糸长总一郎

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/335 ,  H04N5/225

CPC classification number: H01L27/14603 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14645

Abstract: 本发明公开了固体摄像器件和电子装置。所述固体摄像器件具有如下各像素，在所述各像素中在用于所需颜色光的光电转换部上隔着绝缘膜形成有吸收短波长侧的光的吸收膜。在该固体摄像器件中，由于所述吸收膜吸收了进入到相应光电转换部中的所需颜色光的短波长侧的光，从而使得光谱灵敏度曲线上的短波长侧的漂浮段降低。因此，能够在不以峰值灵敏度的降低为代价的情况下，减小光电转换部中的混色(像素间的干扰)即颜色噪声。在具有上述固体摄像器件的电子装置中，由于减小了光电转换部中的混色(像素间的干扰)，因而提高了图像质量。