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公开(公告)号：CN107538914B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201710493655.0
申请日：2017-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够小型化的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头及其制造方法。MEMS器件(记录头(3))中，设置有驱动元件(压电元件(32))的第一基板(压力室形成基板(29)及振动板(31))和保护驱动元件(压电元件(32))的第二基板(密封板(33))经由粘合剂(43)而被接合，驱动元件(压电元件(32))在第一基板(压力室形成基板(29)及振动板(31))与第二基板(密封板(33))之间，被形成在由粘合剂(43)包围的空间(48)的内侧，在粘合剂(43)上设置有将空间(48)与粘合剂(43)的外侧连通的开放孔(49)，开放孔(49)的外侧的端缘与第一基板(压力室形成基板(29)及振动板(31))的端缘及第二基板(密封板(33))的端缘对齐。
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公开(公告)号：CN107405920B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201680014432.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；以及电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号，其中针对每个压电元件独立地形成第一电极层，所述第二电极层跨多个压电元件连续地形成，并且在所述限定区域外的区域中，所述凸块电极的至少一部分与所述第一电极层和所述第二电极层电连接。
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公开(公告)号：CN107020808A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610811780.7
申请日：2016-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力产生室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率与品质。本发明的特征在于，包括：第一基板(33)；第二基板(29)，其与第一基板(33)层压配置，并在第一基板(33)侧具有压电元件(32)，第一基板(33)与第二基板(29)为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时，第一基板(33)的端部(33a)与第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置处。
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公开(公告)号：CN105966068A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610133071.8
申请日：2016-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0471 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2002/14241 , B41J2002/14491 , B41J2202/18 , H01L41/042 , H01L41/0973 , B41J2/14201 , B41J2/01
Abstract: 本发明提供头以及液体喷射装置，其能够使构成保持部的驱动电路基板小型化并实现成本的降低。所述头具备：形成有两列压电致动器列(310)的流道形成基板(10)；设置有驱动电路(120)、第一凸起(31)以及第二凸起(32)的驱动电路基板(30)，第一凸起(31)被设置于压电致动器列(310)的外侧，粘合层(39)被设置于第一凸起(31)以及第二凸起(32)的两侧，在驱动电路基板(30)上设置有第一贯通孔(35)以及第二贯通孔(36)，在这些贯通孔中设置有第一连接配线(311)以及第二连接配线(312)，压电致动器(300)的第一电极(60)和第一连接配线(311)通过第一凸起(31)而被电连接，第二电极(80)和第二连接配线(312)通过第二凸起(32)而被电连接。
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公开(公告)号：CN111746118B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202010213254.7
申请日：2020-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本公开内容涉及一种液体喷出头、以及液体喷出装置，并涉及使较多量的液体从喷嘴喷出的技术。液体喷出头具备：喷嘴；腔板，其具有多个压力腔、与各个压力腔相对应地进行设置的驱动元件、以及用于向驱动元件供给电信号的多个引线电极；电路基板，其具有在引线电极上被连接的端子，多个压力腔包括第一压力腔和第二压力腔，腔板具有：第一压力腔以及第二压力腔，其以共用的方式而与一个喷嘴连通；第一段电极以及第二段电极，其构成驱动元件，所述第二段电极以在俯视观察时与所述第二压力腔重叠且不与所述第一压力腔重叠的方式而被形成，第一段电极以及第二段电极被连接于共用的一个所述引线电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115703292A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210921539.5
申请日：2022-08-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置，在液体喷出头中缓解因流道内的液体彼此的冲突而引起的液体的流动的缓冲或滞留，从而减少或防止液体的喷出性能的降低。液体喷出头具备：第一压力室，其沿着第一方向延伸；第二压力室，其沿着第一方向延伸；第一连通通道，其与第一压力室连接，且沿着第一方向延伸；第二连通通道，其与第二压力室连接，且沿着第一方向延伸；第三连通通道，其与第一连通通道连接，且沿着与第一方向交叉的第二方向延伸；第四连通通道，其与第二连通通道连接，且沿着第二方向延伸；第五连通通道，其与第三连通通道以及第四连通通道连接，且沿着第一方向延伸；喷嘴，其被设置在第五连通通道上。
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公开(公告)号：CN113276558A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110108347.8
申请日：2021-01-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头及液体喷出装置。液体喷出头具备在第一方向延伸且对液体施加压力的第一和第二压力室、在第一方向延伸且与喷出液体的喷嘴连通的喷嘴流道、在与第一方向交叉的第二方向延伸且连通第一压力室与喷嘴流道的第一连通流道、在第二方向延伸且连通第二压力室与喷嘴流道的第二连通流道、向第一压力室供给液体的供给流道及从第二压力室排出液体的排出流道，第二压力室的壁面包括在第一方向延伸且在第二方向离喷嘴最远的第一壁面，第二连通流道的壁面包括在第二方向延伸且在第一方向离喷嘴最远的第二壁面和在第一方向与第二壁面相反侧的第三壁面，设于第一、第三壁面间的第一倾斜部有在第一、第二方向间的第三方向延伸的第一结构面。
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公开(公告)号：CN113199865A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110108496.4
申请日：2021-01-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供液体喷出头及液体喷出装置。液体喷出头具备在第一方向延伸且对液体施加压力的第一压力室、在第一方向延伸且对液体施加压力的第二压力室、在第一方向延伸且与喷出液体的喷嘴连通的喷嘴流道、在与第一方向交叉的第二方向延伸且将第一压力室与喷嘴流道连通的第一连通流道、在第二方向延伸且将第二压力室与喷嘴流道连通的第二连通流道，喷嘴流道的壁面包括在第一方向延伸且设置喷嘴的第一壁面和在第一方向延伸且为第一壁面的相反侧的第二壁面，第一连通流道的壁面包括在第二方向延伸且在第一方向离喷嘴最远的第三壁面和在第二方向延伸且为第三壁面的相反侧的第四壁面，在第二与第四壁面间设置在第一、第二方向间的第三方向延伸的第五壁面。
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公开(公告)号：CN107020819B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201710063629.4
申请日：2017-02-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种可靠性较高的MEMS装置以及液体喷射头。MEMS装置的特征在于，具备：多个可动区域(35)；配线(37)，其从可动区域(35)起沿着第一方向(x)延伸；电极(41)，其与配线(37)连接，电极(41)具有与其他的电极端子(40)连接的连接区域(57)，连接区域(57)沿着与第一方向(x)交叉的第二方向(y)而配置有多个，在第二方向(y)上相邻的连接区域(57)的中心间的距离长于在第二方向(y)上相邻的可动区域(35)的中心间的距离。
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公开(公告)号：CN111746120A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010213803.0
申请日：2020-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本公开内容涉及一种液体喷出头、以及液体喷出装置，并涉及使较多量的液体从喷嘴喷出的技术。液体喷出头具备：喷嘴；腔板，其具有多个压力腔、与各个压力腔相对应地进行设置的驱动元件、以及用于向驱动元件供给电信号的多个引线电极；电路基板，其具有在引线电极上被连接的端子，多个压力腔包括以共用的方式而与一个喷嘴连通的第一压力腔和第二压力腔，多个引线电极包括：第一独立引线电极，其从与第一压力腔相对应的第一驱动元件被引出；第二独立引线电极，其从与第二压力腔相对应的第二驱动元件被引出，电路基板的一个端子以在俯视观察时与第一独立引线电极和第二独立引线电极重叠的方式而被连接。
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