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公开(公告)号:CN106388858A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201610608383.X
申请日:2016-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够抑制翘曲的超声波器件、超声波组件、电子设备以及超声波测定装置。超声波器件(22)具备:元件基板(41),具备将多个超声波换能器(51)配置为阵列状的超声波换能器阵列(50),并具有第一面以及与第一面相反侧的第二面;端子部,设置于元件基板(41)的第一面并且在从第一面的法线方向观察的俯视下比超声波换能器阵列(50)靠外侧处,并与超声波换能器(51)进行电连接;以及加固板(45),设置于元件基板(41)的第二面并在俯视下与端子部重叠的区域,并且弯曲刚性比元件基板(41)大。
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公开(公告)号:CN106025058A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610157590.8
申请日:2016-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/47
Abstract: 本发明提供超声波传感器及其制造方法,能够确保高可靠性。该超声波传感器具备:沿着XY平面的基板(10);多个空间(12),其沿X轴方向以及Y轴方向中的至少一个方向形成于基板;振动板(50),其以封闭空间的方式设置于基板上,并具有靠基板侧的第1面(50a)以及与该第1面对置的第2面(50b);压电元件(300),其设置于振动板的第2面侧中的与空间对应的部分,发送以及/或者接收超声波;以及包围板(40),其设置于振动板的第2面侧,并包围压电元件的周围的区域,在包围板的靠压电元件侧的面(40b)与振动板的第2面之间,并且在不与压电元件重叠的位置设置有支承部件(41)。
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