公开(公告)号：CN100394558C

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200510074086.3

申请日：2005-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 原田光明 ,  守谷壮一

IPC: H01L21/311 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L27/3276 ,  G02F1/1345 ,  G02F1/167 ,  H01L21/76802 ,  H01L27/283 ,  H01L27/3274 ,  H01L51/56 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/0289 ,  H05K3/002 ,  H05K3/005 ,  H05K3/4069 ,  H05K2203/0126 ,  H05K2203/0221 ,  H05K2203/0783 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供一种接触孔的形成方法、电路基板的制造方法及电光学装置的制造方法。本发明的方法，在具备基板(20)、在基板(20)上设置的第一电极(34b)、在第一电极(34b)上设置的层间膜(32)、和在层间膜(32)上设置的第二电极(34)的电路基板(10)上，被埋入层间膜(32)的接触孔(H)内、使第一电极(34b)与第二电极(34)导通的、由导电性材料构成的导电部(300)。首先用针(P)一边在层间膜(32)上机械开孔，一边用针(P)所含的溶剂将层间膜(32)化学溶解，形成直达第一电极(34b)的接触孔(H)，在此接触孔(H)内埋入导电性材料形成导电部(300)。

公开(公告)号：CN101026153A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710005857.2

申请日：2007-02-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 川濑健夫 ,  宫本勉 ,  守谷壮一

IPC: H01L27/00 ,  H01L23/522

Abstract: 提供一种能够容易产生希望的附加电容的有源矩阵基板。本发明的有源矩阵基板包括：基板(10)；配置在上述基板的一面侧的第一电极(12)；配置在上述第一电极上的绝缘膜(14)；隔着上述绝缘膜而与上述第一电极对置配置的多个第二电极(16)；以及在上述绝缘膜上配置的多个开关元件(18)。多个第二电极分别与多个开关元件中的一个电连接。