等离子处理装置
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102884223B

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201180015135.X

    申请日:2011-03-10

    Abstract: 本发明提供一种在反应气体的反应成分容易凝结的情况下也能够防止其在喷嘴的内部凝结且能够避免短路等不良情况的等离子处理装置。在等离子处理装置(1)的一对电极(11、12)之间形成放电空间(13),向被处理物(9)照射等离子。喷嘴(20)配置在一对电极(11、12)的至少一方或放电空间(13)的附近。从喷嘴(20)向被处理物(9)喷出含有凝结性的反应成分的反应气体。通过喷嘴温度调节机构(30)对喷嘴(20)的温度进行调节。在喷嘴(20)内形成温度调节路(32)作为温度调节机构(30),并使温度调节液流动。通过液温调节部(31)以成为比反应成分的凝结温度高的高温的方式对温度调节液进行调节。

    等离子处理装置
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102884223A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201180015135.X

    申请日:2011-03-10

    Abstract: 本发明提供一种在反应气体的反应成分容易凝结的情况下也能够防止其在喷嘴的内部凝结且能够避免短路等不良情况的等离子处理装置。在等离子处理装置(1)的一对电极(11、12)之间形成放电空间(13),向被处理物(9)照射等离子。喷嘴(20)配置在一对电极(11、12)的至少一方或放电空间(13)的附近。从喷嘴(20)向被处理物(9)喷出含有凝结性的反应成分的反应气体。通过喷嘴温度调节机构(30)对喷嘴(20)的温度进行调节。在喷嘴(20)内形成温度调节路(32)作为温度调节机构(30),并使温度调节液流动。通过液温调节部(31)以成为比反应成分的凝结温度高的高温的方式对温度调节液进行调节。

    等离子加工装置
    26.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100375246C

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200480006180.9

    申请日:2004-03-04

    Abstract: 等离子加工装置的喷嘴头(NH)包括:环形内保持器(3);围绕内保持器(3)的环形内电极(11);围绕内电极的环形外电极(21);以及围绕外电极(21)的环形外保持器(4)。内保持器(3)设有多个螺栓(7),所述螺栓以间距周向安置并用于径向向外挤压内电极(11)。外保持器(4)设有多个螺栓(8),所述多个螺栓(8)以间距周向安置以径向向内挤压外电极(21)。使用此结构,环形电极(11、21)的卸装、安装和对心可以很容易进行。

    二次电池的制造方法
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107078334B

    公开(公告)日:2019-09-13

    申请号:CN201580048139.6

    申请日:2015-09-18

    Abstract: 一种二次电池的制造方法,其是用一对膜材料分别覆盖构成电池的层叠体的上表面和下表面,将所述一对膜材料沿着从其中的一端朝向另一端的加工方向依次贴合,从而制造具有膜外装体的二次电池的方法,其特征在于,其包括:第一密封工序,该工序将一对膜材料在夹持构成电池的层叠体的状态下进行重叠,将所述一对膜材料重叠的部分的位于所述加工方向的上游的一端密封;以及,第二密封工序,该工序将重叠的所述膜材料的沿着所述加工方向延伸的两侧端部中的一者或两者沿着所述加工方向依次贴合,进一步地,沿着所述加工方向对重叠的所述膜材料的两侧端部之间的中间部依次按压,对形成于所述一对膜材料之间的内部空间进行脱气。

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