粘合片的制造方法、半导体装置的制造方法及粘合片

    公开(公告)号:CN113646168A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202080024093.5

    申请日:2020-03-26

    Abstract: 本发明提供能够获得可抑制在制造过程中热膨胀性粒子的膨胀,从而显示出临时固定时的充分的粘合力、和加热剥离时的良好的加热剥离性的粘合片的粘合片的制造方法、使用通过该粘合片的制造方法得到的粘合片的半导体装置的制造方法、以及通过上述粘合片的制造方法得到的粘合片。本发明的粘合片的制造方法中,所述粘合片具有基材(Y)、和包含能量射线聚合性成分的聚合物及热膨胀性粒子的粘合剂层(X1),所述方法包括下述工序I及II。工序I:在基材(Y)的一面侧形成由包含所述能量射线聚合性成分和所述热膨胀性粒子的聚合性组合物(x‑1)形成的聚合性组合物层的工序;工序II:通过边将所述聚合性组合物层冷却边对所述聚合性组合物层照射能量射线而生成所述能量射线聚合性成分的聚合物,从而形成粘合剂层(X1)的工序。

    粘合片
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107001872A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580064807.4

    申请日:2015-12-17

    Abstract: 本发明的粘合片(10A)依次具备:基材(11)、中间层(12)及粘合剂层(13),其中,中间层(12)是将含有多官能化合物和单官能单体的中间层用组合物固化而成的,所述多官能化合物具有至少2个聚合性官能团,所述单官能单体至少包含具有碳原子数14~22的直链碳链的结晶性单体,在中间层用组合物中,含有相对于所述单官能单体多于25质量%的所述多官能化合物。

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