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公开(公告)号:CN102549497A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201080040527.7
申请日:2010-09-07
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/037 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , G03F7/037
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物能够抑制随着减压干燥产生气泡、形成干燥后的膜厚均匀性优异的感光性树脂膜。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,含有:(a)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺的前体、及聚苯并噁唑的前体中的至少1种以上的树脂、(b)感光剂、(c)大气压下的沸点为100℃以上130℃以下的有机溶剂及(d)大气压下的沸点为150℃以上、20℃下的粘度大于1.1mPa·s、小于1.5mPa·s的有机溶剂,且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为40重量%以上90重量%以下,(d)成分的含量相对于有机溶剂总量为10重量%以上60重量%以下。
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公开(公告)号:CN101017328B
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN200710084698.X
申请日:2002-02-21
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , Y10S430/107
Abstract: 提供一种可以碱显影的正型感光性树脂前体组合物,其包含下述(a)、(b1)和(c)。(a)在以通式(3)表示的结构单元为主要成分的碱性水溶液中可溶性的聚酰胺酸酯和/或聚酰胺酸聚合物,式中,R3表示至少含有2个以上的碳原子的2价~8价的有机基,R4表示至少含有2个以上的碳原子的2价~6价的有机基,R5表示氢原子或碳原子数为1~20的有机基,n为10~100000的整数,m为0~2的整数,p、q为0~4的整数,p+q>0,p或q的任一方为0,(b1)含有通式(1)表示的用有机基R1取代的羟甲基的含酚羟基的热交联性化合物,(c)酯化的重氮醌化合物。
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公开(公告)号:CN1971418B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200610114895.7
申请日:2000-05-30
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物,其特征在于,含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物,且满足条件(b)相对于100重量份的聚合物,含有通式(8)所示的酚化合物1~50重量份与萘醌二叠氮基磺酸酯1~50重量份。通式(1)通式(8)
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公开(公告)号:CN100529964C
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200410043038.3
申请日:2004-04-07
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0007 , G03F7/0233 , G03F7/105
Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物,包括:(a)碱溶性树脂;(b)醌的重氮化合物;(c)热敏化合物,其在受热后着色并在至少350nm且至多700nm的波长处显示出吸收最大值;和(d)一种化合物,其在至少350nm到低于500nm的波长内不具有吸收最大值,但在至少500nm且至多750nm的波长处具有吸收最大值。这种组合物优选用于形成遮光分离器或者有机电致发光器件和液晶显示元件的黑色基质。
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公开(公告)号:CN101017328A
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200710084698.X
申请日:2002-02-21
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , Y10S430/107
Abstract: 提供一种可以碱显影的正型感光性树脂前体组合物,其包含下述(a)、(b1)和(c)。(a)在以通式(3)表示的结构单元为主要成分的碱性水溶液中可溶性的聚酰胺酸酯和/或聚酰胺酸聚合物,式中,R3表示至少含有2个以上的碳原子的2价~8价的有机基,R4表示至少含有2个以上的碳原子的2价~6价的有机基,R5表示氢原子或碳原子数为1~20的有机基,n为10~100000的整数,m为0~2的整数,p、q为0~4的整数,p+q>0,p或q的任一方为0,(b1)含有通式(1)表示的用有机基R1取代的羟甲基的含酚羟基的热交联性化合物,(c)酯化的重氮醌化合物。
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公开(公告)号:CN1457454A
公开(公告)日:2003-11-19
申请号:CN02800432.9
申请日:2002-02-21
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , Y10S430/107
Abstract: 提供一种可以碱显影的正型感光性树脂前体组合物,其包含下述(a)、(b1)或(b2)、(c)。(a)在碱性水溶液中可溶性的聚酰胺酸酯和/或聚酰胺酸聚合物。(b1)含有通式(1)表示的用有机基R1取代的羟甲基的含酚羟基的热交联性化合物(R1是氢原子的情况除外)。(b2)含有通式(2)表示的用有机基R1取代的尿素系有机基的热交联性化合物。(c)酯化的重氮醌化合物。
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公开(公告)号:CN111936552B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN201980019979.8
申请日:2019-03-15
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供能够得到高伸长率、低应力、高金属密合、高耐热性的固化膜的碱溶性树脂及含有其的感光性树脂组合物。本发明为(A)碱溶性树脂,其特征在于,具有通式(1)表示的结构,且满足以下的(I)和(II)。(I)作为通式(1)的X1,具有碳原子数为8~30的脂肪族链的有机基团以相对于X1和X2的总量100摩尔%而言30~70摩尔%的量被含有,(II)作为通式(1)的Y1,具有二苯醚结构的有机基团以相对于Y1和Y2的总量100摩尔%而言1~30摩尔%的量被含有(通式(1)中的X1表示碳原子数为2~100个的2价有机基团,Y1和Y2表示碳原子数为2~100个的2~6价有机基团,X2表示碳原子数为2~100个的4价有机基团,p和q表示0~4的范围的整数,n1和n2表示5~100000的范围的整数。)
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公开(公告)号:CN114502659A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202080070285.X
申请日:2020-10-23
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L79/08 , C08L61/04 , C08K5/42 , C08K5/13 , G03F7/004 , G03F7/023 , G09F9/30 , H05B33/02 , H05B33/22 , H01L51/52
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物,其能够赋予对用于将形成布线时使用的光致抗蚀剂除去的剥离剂的耐性、对恒温恒湿试验(HAST)的耐性,而且,在具有感光性的情况下,加热处理后的固化膜的图案形状优异。一种树脂组合物,其包含(A)选自由聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及它们的共聚物组成的组中的1种以上的树脂、(B)酚醛树脂、(C)热交联剂,该(B)酚醛树脂具有特定的通式(4)表示的结构单元,前述通式(4)表示的结构单元具有特定的通式(5)及特定的通式(6)的结构单元,在将前述(B)酚醛树脂中的通式(4)表示的全部结构单元数设为100的情况下,通式(5)及通式(6)表示的结构单元数的比率为通式(5):通式(6)=60:40~90:10。
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公开(公告)号:CN106715597B
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN201580049633.4
申请日:2015-10-01
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L101/02 , G03F7/004 , G03F7/037 , H01L21/027 , H01L21/336 , H01L29/786
Abstract: 本发明涉及树脂组合物,以200℃~350℃的范围内的任一温度下的加热处理后的厚度成为3.0μm的方式形成树脂组合物膜时,所述树脂组合物能形成下述耐热性树脂膜:所述加热处理前的波长365nm~436nm内的各波长处的透光率为50%以上、所述加热处理后的波长365nm~436nm内的各波长处的透光率为10%以下的耐热性树脂膜。本发明提供适用于形成在有机发光装置、显示元件中使用的平坦化膜、绝缘层或隔壁的、具有吸收紫外光及可见光短波长区域的功能的树脂组合物。
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公开(公告)号:CN112368641A
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN201980044700.1
申请日:2019-08-05
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供下述感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物具有良好的图案加工性,且将其于低温进行固化而得到的固化膜具有高耐化学药品性、高弹性、高伸长率特性及与金属(特别是铜)的高密合性。本发明为感光性树脂组合物,其含有:(A)树脂,其为选自由环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及聚硅氧烷组成的组中的任1种以上;(B)热产碱剂;及(C)感光剂,该(B)热产碱剂含有胍衍生物或双胍衍生物中的任1种以上,该(C)感光剂含有(c‑1)光产酸剂及/或(c‑2)光自由基聚合引发剂。
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