公开(公告)号：CN104006808A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201410057919.4

申请日：2014-02-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆

IPC: G01C19/5607 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5621

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/0547

Abstract: 提供耐冲击性优异且可抑制振动泄漏的产生的振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体。作为振动片的音叉型振动片（1）包含：形成在包含第1轴和与其垂直的第2轴的平面上的基部（14）；从基部（14）起沿第1轴方向以比基部（14）的厚度薄的厚度延伸设置的连接部（20）；从连接部（20）的端部（20a）起沿第1轴方向以与连接部（20）的厚度相同的厚度延伸设置的振动臂（11、12、13），振动臂（11、12、13）沿着与所述平面垂直的方向进行弯曲振动，连接部（20）被设置成连接部（20）在第1轴方向上的长度L2与振动臂（11、12、13）在第1轴方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。

公开(公告)号：CN100511995C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200410102254.0

申请日：2004-12-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  饭泽庆吾

IPC: H03H9/25

CPC classification number: H03H3/08 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/14547 ,  H03H9/14594

Abstract: 本发明提供一种声表面波元件片及其制造方法。声表面波元件片(50)在石英片(52)的表面具有IDT(34)和配置在IDT(34)两侧的反射器(36)。石英片(52)由其切割角被欧拉角表示为(0°、113°～135°、±(40°～49°))的面内旋转ST切割石英板形成。IDT(34)和反射器36沿着相对石英片(52)的声表面波的相位速度的方向(40)倾斜PFA±3°的方向配置。能量流动角PFA在石英片(52)的切割角被欧拉角表示为(φ°、θ°、ψ°)时，PFA＝0.374(θ°-90°)-10.0°。由此，可以确实沿着面内旋转ST切割石英板的声表面波的群速度的方向配置IDT和反射器。

公开(公告)号：CN1402429A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：CN02142124.2

申请日：2002-08-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 饭泽庆吾 ,  山崎隆 ,  神名重男

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/10 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H3/10 ,  H03H9/02551

Abstract: 旨在适用适合于采用了平面内旋转ST截割水晶片的弹性表面波装置具有的3次函数的温度特性的弹性表面波装置的温度特性调整方法。一种采用了欧拉角处于(0°，113～135°，±(40～49°))的平面内旋转ST截割水晶片的弹性表面波装置的温度特性调整方法。按照采用了具有3次函数温度特性的平面内旋转ST截割水晶片的弹性表面波装置的温度特性在－40～+85℃的温度范围内具有极值的原则把上述欧拉角的范围设定到影线部4及5的区域内，利用该影线部4及5的区域，使温度特性围绕拐点周围旋转，为使使用温度范围内的频率变动量幅度达到最小而进行调整。

公开(公告)号：CN118590027A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410218913.4

申请日：2024-02-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小林琢郎 ,  山田明法 ,  山崎隆 ,  川内修

IPC: H03H9/215 ,  H03H9/13 ,  H03H3/02

Abstract: 提供振动元件和振动器件，振动元件和振动器件的CI值小且是小型的。振动元件包含基部和振动臂，振动臂包含臂部和宽度比臂部宽的宽幅部，臂部在第1面侧形成有第1槽，在第2面侧形成有第2槽，在设臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，臂部的第1面与第2面之间的厚度(T)满足110μm≥T≥150μm，在设第1槽的深度为t1、第2槽的深度为t2时，满足0.884≥(t1+t2)/T≥0.990，在设夹着第1槽排列的第1面的宽度和夹着第2槽排列的第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥Wb/T≥0.0326，振动臂的长度(L1)满足L1≥1000μm。

公开(公告)号：CN112152586B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202010585481.2

申请日：2020-06-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 黑川贤一 ,  北原幸男 ,  山崎隆 ,  蝦名昭彦

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/17 ,  H03H9/13

Abstract: 提供振动片、电子设备以及移动体，振动片(1)包含：基部(10)；臂(11)，其与基部(10)连续；第1电极(13)，其配置于臂(11)，包含作为氮化钛的第1层(13a)和含有氮、钛以及氧的第2层(13b)；氮化铝层(14)，其与第2层(13b)接触；以及第2电极(15)，其配置于氮化铝层(14)。

公开(公告)号：CN104993803B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201510354535.3

申请日：2012-01-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/215

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备。振动片具有基部和从基部起在第1方向上延伸的至少3根振动臂，各振动臂排列在与第1方向垂直的第2方向上，在沿着由第1方向和第2方向确定的平面的主面的至少一方上具有激励电极，各振动臂的各激励电极具有：设置在主面侧的第1电极；与第1电极相对地设置的第2电极；以及在第1电极与第2电极之间延伸的压电体，在设第1振动臂在第2方向上的臂宽为W1、第2振动臂在第2方向上的臂宽为W、且从第3方向观察时，第1振动臂的第1电极、第2电极以及压电体重叠的宽度为A1’、第2振动臂各自的第1电极、第2电极以及压电体重叠的宽度为A’时，1.35＜W1/W＜1.90且1.35＜A1’/A’＜1.90。

公开(公告)号：CN105322908A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510272020.9

申请日：2015-05-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  石井昌宏

IPC: H03H9/10 ,  H03H9/215

Abstract: 提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件抑制振动片的振动特性下降且实现小型化，电子设备和移动体具有该电子器件。振子(电子器件)(1)具有：具有振动臂(28、29、30)的振动片(2)；支承振动片(2)且俯视时呈矩形的基部(3)；以及设置在振动片(2)的与基部(3)相反侧的盖体(7)，基部(3)的长边(302)和短边(303)延伸的方向与振动臂(28、29、30)延伸的方向相交。在设振动臂(28、29、30)与(Y)轴方向所成的角度为θ时，角度θ超过0°且小于90°。

公开(公告)号：CN102006024B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201010597294.2

申请日：2009-01-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

IPC: H03H3/02

CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

公开(公告)号：CN102197592B

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN200980142077.X

申请日：2009-10-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  舟川刚夫 ,  山崎隆

IPC: H03H9/215 ,  H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离，因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且，第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离，因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样，能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。

公开(公告)号：CN101847979B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201010148347.2

申请日：2010-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  山崎隆 ,  浜山裕史

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02133

Abstract: 本发明提供一种抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。该音叉型石英振动片(50)由基部(52)和从该基部(52)的一端侧分叉出两支并彼此平行地延伸的一对振动臂(53、54)构成。在各振动臂(53、54)形成有激励电极(36A、37A)，在基部(52)设置了分别与激励电极(36A、37A)相对应的外部连接电极(66、67)。另外，在振动臂(53)的与基部(52)相连的根部附近的基部(52)上设置有由热传导率高的材料形成的热传导路径(57)，该热传导路径(57)被连接于侧面电极(26A、26B)，该侧面电极(26A、26B)分别设置在与振动臂(53)的形成有激励电极(36A)的主面正交的两侧面。从而，图中箭头所示的振动臂(53)的弯曲振动方向的成为与基部(52)相连的根部的第1区域(110)和第2区域(111)通过热传导路径(57)被热连接。