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公开(公告)号：CN109865904B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201910103034.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置，其中，该方法包括：将微细金属探针插入待操作液体中，通过控制微细金属探针的水平方向运动，利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上；通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置；通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体，将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴，具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。
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公开(公告)号：CN109773290B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201910128208.4
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法，其中，对准系统包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的绝缘液体和导电微球的载体；绝缘液体用于微细工具电极粘附导电微球并实现自动对准中心；导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通导电液体和微细工具电极产生电接触信号；导电液体连接电源一极，并与导电微球、微细工具电极产生电接触信号；电接触反馈系统用于检测到电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令。该对准系统可实现非平整非导电表面高度的精确测量，而且测量系统成本较低，简单易实现。
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公开(公告)号：CN109570657B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201811398314.6
申请日：2018-11-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工主轴系统伺服响应延时测量系统及方法，其中，该系统包括：电火花加工系统主轴装夹工具电极，控制工具电极进给运动；非接触式电涡流位移传感器固定于电火花加工系统的主轴上，监测记录主轴和工具电极的位移动作；加工间隙伺服控制系统的输入端连接工具电极和工件极间，输出端连接主轴驱动电机，用于分别反馈工件极间电信号和输出工具电极运动的控制信号；双通道数字示波器的第一通道与输出信号线连接，其第二通道与工具电极和工件连接，以分别监测并比较工具电极运动的变化时刻和工件极间的电信号变化时刻得到全闭环响应延时。该系统成本低、操作便捷、分辨率和灵敏度高，可通用于各种机床运动系统的伺服响应延时测量。
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公开(公告)号：CN110247644B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201910559212.6
申请日：2019-06-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于雪崩三极管的微细电火花加工用纳秒脉冲电源，包括：直流电源、充电电路、放电电路、驱动脉冲输入电路和陡化波形电路，其中，充电电路包括：第一限流电阻R1和二极管D1；放电电路包括：储能电容C1、第一雪崩三极管T1和控制电阻R2；驱动脉冲电路包括：第二限流电阻R3和第三限流电阻R4；陡化波形电路包括：第二雪崩三极管T2；驱动脉冲输入电路控制放电电路中雪崩三极管的通断，根据输入的驱动脉冲的类型，产生单个或者连续多个纳秒级放电脉冲，峰值电压可通过直流电源调节。该电源采用雪崩三极管作为开关元件，打开速度快，开关频率高，可以获得纳秒级脉宽脉冲，有效提高微细电火花加工质量和加工效率。
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公开(公告)号：CN109811342B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201910130148.X
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了网掩膜大面积制备微凹坑结构和超疏水金属表面的方法。该方法包括：(1)在金属表面施加具有第一预定孔径的有机材料网；(2)对步骤(1)所得试样进行加热处理，以便使有机材料网熔化，从而在金属表面形成具有第二预定孔径的有机掩膜；(3)对未被有机掩膜覆盖的金属表面进行刻蚀，以便在金属表面获得微凹坑结构；(4)利用清洗剂对步骤(3)所得试样进行清洗，以便除去有机掩膜，得到具有微凹坑结构的金属表面。该方法可高效制备得到大面积的微凹坑结构金属表面，通过刻蚀特定结构的微凹坑结构，可以获得大面积超疏水金属表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109269392B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201811290398.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置及方法，其中，该装置包括：导电杆用于与工件表面接触时随进给上移至接触导电端子产生短路信号；导轨用于为导电杆提供轨道，使导电杆随进给上下滑动；第一绝缘支架用于将电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置固定在加工机床的Z轴上；第二绝缘支架用于将导电杆固定在导轨的滑块上；电接触运动反馈系统用于向加工机床发出进给或停止的运动命令，当检测到短路信号时记录导电杆与工件表面接触点的Z轴方向位置，通过记录多个Z轴方向位置得到高度分布集合，并通过偏差确定工件表面的不平整度。该装置结构紧凑小巧，易于与机电数控系统集成，降低了绝缘工件表面位置的快速测量和调整的难度。
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公开(公告)号：CN109865904A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910103034.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置，其中，该方法包括：将微细金属探针插入待操作液体中，通过控制微细金属探针的水平方向运动，利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上；通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置；通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体，将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴，具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。
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公开(公告)号：CN109811342A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910130148.X
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了网掩膜大面积制备微凹坑结构和超疏水金属表面的方法。该方法包括：(1)在金属表面施加具有第一预定孔径的有机材料网；(2)对步骤(1)所得试样进行加热处理，以便使有机材料网熔化，从而在金属表面形成具有第二预定孔径的有机掩膜；(3)对未被有机掩膜覆盖的金属表面进行刻蚀，以便在金属表面获得微凹坑结构；(4)利用清洗剂对步骤(3)所得试样进行清洗，以便除去有机掩膜，得到具有微凹坑结构的金属表面。该方法可高效制备得到大面积的微凹坑结构金属表面，通过刻蚀特定结构的微凹坑结构，可以获得大面积超疏水金属表面。
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公开(公告)号：CN109570657A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811398314.6
申请日：2018-11-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工主轴系统伺服响应延时测量系统及方法，其中，该系统包括：电火花加工系统主轴装夹工具电极，控制工具电极进给运动；非接触式电涡流位移传感器固定于电火花加工系统的主轴上，监测记录主轴和工具电极的位移动作；加工间隙伺服控制系统的输入端连接工具电极和工件极间，输出端连接主轴驱动电机，用于分别反馈工件极间电信号和输出工具电极运动的控制信号；双通道数字示波器的第一通道与输出信号线连接，其第二通道与工具电极和工件连接，以分别监测并比较工具电极运动的变化时刻和工件极间的电信号变化时刻得到全闭环响应延时。该系统成本低、操作便捷、分辨率和灵敏度高，可通用于各种机床运动系统的伺服响应延时测量。
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公开(公告)号：CN109269392A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811290398.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置及方法，其中，该装置包括：导电杆用于与工件表面接触时随进给上移至接触导电端子产生短路信号；导轨用于为导电杆提供轨道，使导电杆随进给上下滑动；第一绝缘支架用于将电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置固定在加工机床的Z轴上；第二绝缘支架用于将导电杆固定在导轨的滑块上；电接触运动反馈系统用于向加工机床发出进给或停止的运动命令，当检测到短路信号时记录导电杆与工件表面接触点的Z轴方向位置，通过记录多个Z轴方向位置得到高度分布集合，并通过偏差确定工件表面的不平整度。该装置结构紧凑小巧，易于与机电数控系统集成，降低了绝缘工件表面位置的快速测量和调整的难度。
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