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公开(公告)号：CN207130364U
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201720965539.X
申请日：2017-08-03
Applicant: 淮北师范大学
IPC: C30B19/00
Abstract: 本实用新型公开了液相外延薄膜制备装置技术领域的一种厚度可控的液相外延薄膜制备装置，包括外层炉和籽晶秆，所述外层炉的内腔中左右两侧均安装有加热装置，所述外层炉的内腔中安装有均热内炉，所述均热内炉的内腔底部安装有耐火座，所述耐火座的顶部安装有坩埚，所述均热内炉的内腔的左右两侧均安装有固定块，所述固定块的底部安装有液压缸，所述液压缸的底部安装有旋转座，右侧所述座体的右侧外壁和左侧所述座体的左侧外壁均安装有旋转电机，本实用新型通过增加限量装置，可以通过旋转均匀的把原料涂抹在限厚板上，使膜可以均匀制备，并可以避免因重力造成的影响和排除因原料量过多导致出现的误差，使膜的厚度更加直观的被控制。
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