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公开(公告)号：CN116810189A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310309169.4
申请日：2023-03-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置通过对在激光入射面上设置有具有光透过性的透过部件的对象物照射激光，从而在对象物的内部形成改质区域。激光加工装置包括支撑部、照射部、三角测距传感器、移动机构、存储部、决定部和对位部。决定部将存储部中存储的多个受光位置信息中的任1个决定为基准受光位置信息。对位部以三角测距传感器的受光元件阵列的受光位置成为与基准受光位置信息对应的受光位置的方式，使移动机构动作而使照射部和支撑部的至少一者移动，使聚光透镜相对于激光入射面的光轴方向上的位置对准规定高度位置。
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公开(公告)号：CN116060780A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211360343.X
申请日：2022-11-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 在激光加工装置(1)中，对经由器件层(150)与第2晶片(200)接合的第1晶片(100)照射激光L，进行激光加工。器件层(150)包含包括多个芯片的有源区域(160)和以包围有源区域(160)的方式位于有源区域(160)的外侧的周缘部(170)。而且，在激光加工中，通过沿着在该周缘部(170)上环状延伸的第1线(A1)照射激光(L)，形成沿着第1线(A1)的第1改性区域(121)。由此，能够利用第1改性区域(121)和从第1改性区域(121)延伸的第1裂纹(131)，进行将晶片的外缘部分作为不要部分(除去区域E)除去的切边。
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公开(公告)号：CN115515746A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180031355.5
申请日：2021-03-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 激光加工装置，使聚光区域的一部分对准对象物来照射激光，从而在对象物形成改质区域。激光加工装置，具备：支撑部，其构成为能以沿着铅垂方向的轴为中心来旋转，且支撑对象物；照射部，其对于被支撑部所支撑的对象物，照射以第1水平方向为偏振方向的激光；第1移动机构，其沿着偏振方向即第1水平方向使照射部移动；第2移动机构，其沿着与偏振方向垂直的水平方向即第2水平方向来使支撑部及照射部的至少一方移动；以及控制部，其控制支撑部、照射部、第1移动机构及第2移动机构的动作。
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公开(公告)号：CN115087513A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202080094046.8
申请日：2020-12-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/067 , H01L21/301
Abstract: 本发明的控制部执行：第1处理，在将第1聚光点与第2聚光点的距离设定为第1距离的状态下，一边沿着第1线使所述第1聚光点及所述第2聚光点相对移动，一边对对象物照射所述激光；和第2处理，在将所述第1聚光点与所述第2聚光点的距离设定为小于所述第1距离小的第2距离的状态下，一边沿着第2线使所述第1聚光点及所述第2聚光点相对移动，一边对所述对象物照射所述激光。
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公开(公告)号：CN113165120A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980072868.3
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备支撑部、照射部及控制部。照射部具有以与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形激光的成形部。控制部具有：决定部，其决定第1朝向与第2朝向，以使长边方向与聚光区域的一部分的移动方向交叉；加工控制部，其执行沿着第1区域使聚光区域的一部分相对地移动而形成改质区域并且使线的第1区域以外的区域上的改质区域的形成停止的第1处理、和沿着第2区域使聚光区域的一部分相对地移动而形成改质区域并且使线的第2区域以外的区域上的改质区域的形成停止的第2处理；及调整部，其在执行第1处理的情况下以成为第1朝向的方式调整长边方向的朝向，并且在执行第2处理的情况下以成为第2朝向的方式调整长边方向的朝向。
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公开(公告)号：CN113165119A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980071724.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备支撑部、照射部及控制部。照射部具有以与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形激光的成形部。控制部具有：决定部，其基于对象物信息及线信息，将线的第1部分的长边方向的朝向决定为第1朝向，以使长边方向与聚光区域的一部分的移动方向交叉；及调整部，其调整第1部分的长边方向的朝向以成为被决定的第1朝向。
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公开(公告)号：CN113039038A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201980071652.5
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备：支承部、照射部、移动机构、控制部及摄像部。控制部实行第1前处理，该第1前处理是沿着具有并排配置的多条并行线的加工用线将激光照射于对象物，而在对象物形成改质区域。摄像部取得第1图像，该第1图像呈现通过第1前处理而沿着具有多条并行线的加工用线形成了改质区域的情况的加工状态。
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公开(公告)号：CN119141012A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202410761490.0
申请日：2024-06-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，其具备：支承部，其支承对象物；第一光源，其射出加工光；第二光源，其射出非加工光；物镜部，其使加工光及非加工光透射到对象物侧；光检测部，其检测由对象物反射且从对象物侧透过了物镜部的非加工光的反射光；处理部，其基于光检测部的检测结果，获取与物镜部的光射出面的污染相关的信息。非加工光的光轴及反射光的光轴中的至少一方在物镜部的光射出面上从物镜部的光轴向规定方向偏移。
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公开(公告)号：CN113056346B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201980071542.9
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置，是通过对对象物照射激光，在对象物的内部沿着假想面形成改质区域。激光加工装置具备：支承部、照射部、移动机构、及控制部。控制部实行第1加工处理及第2加工处理。第1加工处理，是对对象物的第1部分以第1加工条件照射激光；第2加工处理，是在第1加工处理之后，对对象物中的比第1部分更内侧的第2部分，以与第1加工条件不同的第2加工条件照射激光。
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公开(公告)号：CN112996628B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201980071656.3
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备：支承部、照射部、移动机构、控制部及加工状态监视部。加工状态监视部，监视沿着一条加工用线形成了改质区域的情况的加工状态是否为第1切割状态及/或监视沿着具有并排配置的多条并行线的加工用线形成了改质区域的情况的加工状态是否为第2切割状态，第1切割状态，是使从改质区域所含的多个改质点延伸的龟裂朝沿着一条加工用线的方向伸展的状态；第2切割状态，是使从改质区域所含的多个改质点延伸的龟裂朝沿着并行线的方向及与并行线交叉的方向伸展而相连的状态。
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