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公开(公告)号：CN110146946B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201910489347.X
申请日：2019-06-06
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种非对称性弯曲结构的太赫兹集成器件，包括衬底和水平设置在衬底上的金属薄膜，所述金属薄膜设置有三块，由位于中心的呈直线状的中心金属薄膜，和设置在中心金属薄膜两侧的侧部金属薄膜构成，所述侧部金属薄膜呈圆弧状，开口远离中心金属薄膜一侧设置，两块所述侧部金属薄膜的曲率圆圆心的连线与中心金属薄膜之间的夹角小于90度，所述中心金属薄膜和侧部金属薄膜的两侧壁上均设置有规则排列的锯齿结构。本发明的器件通用性较强，在不同波段下依然可以产生预设效果，无需改变设计好的几何结构，器件的适用范围还会扩展，可进行大部分太赫兹波段的研究。
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公开(公告)号：CN113310400B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110578721.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供的是一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法。所述方法为：同步于测量流程运行，根据信号采集部分模数转换的采集要求，确定需要增益到的信号强度的目标区间和修改信号增益的阈值；取采集到的正弦电信号峰峰值，作为调节增益时所需要的正弦光信号强度数据；根据所述正弦光信号强度数据与信号强度目标值进行PID调节运算；根据PID调节运算结果，FPGA修改DAC输出电压数据控制增益补偿模块的补偿增益，进行一次增益调节；完成一次增益调节，采集调节后的信号强度数据。本发明可用于双频激光干涉测量的光电探测电路的信号采集前置增益补偿流程中，用于对光电检测信号的动态补偿。由于增益补偿调节均匀连续且与信号采集流程动态同步，信号的强度范围将实时保持在最佳采集区间内且不会发生增益突变。可有效提高模数转换部分对信号采样的精度，提高对模数转换模块性能的利用率，提高信号采集的稳定性。
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公开(公告)号：CN113310400A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110578721.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供的是一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法。所述方法为：同步于测量流程运行，根据信号采集部分模数转换的采集要求，确定需要增益到的信号强度的目标区间和修改信号增益的阈值；取采集到的正弦电信号峰峰值，作为调节增益时所需要的正弦光信号强度数据；根据所述正弦信号强度数据与信号强度目标值进行PID调节运算；根据PID调节运算结果，FPGA修改DAC输出电压数据控制增益补偿模块的补偿增益，进行一次增益调节；完成一次增益调节，采集调节后的信号强度数据。本发明可用于双频激光干涉测量的光电探测电路的信号采集前置增益补偿流程中，用于对光电检测信号的动态补偿。由于增益补偿调节均匀连续且与信号采集流程动态同步，信号的强度范围将实时保持在最佳采集区间内且不会发生增益突变。可有效提高模数转换部分对信号采样的精度，提高对模数转换模块性能的利用率，提高信号采集的稳定性。
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公开(公告)号：CN113074641A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110298319.7
申请日：2021-03-19
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法，包括运动台119、外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪。所述外差式光栅干涉仪包括读数头(115‑118)、二维光栅(111‑114)，4块二维光栅放置在运动台(119)上，每块二维光栅对应一个读数头，读数头出射激光束至二维光栅，并收集二维光栅的衍射光束。所述外差式激光干涉仪包括干涉仪镜组(101‑103)、干涉仪反射镜(104‑110)，水平向反射镜(116‑110)分别放置于运动台的3个侧面，垂向反射镜(104、105)放置在运动台上方。外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪能够同时测量运动台的位移，根据上述布局建立外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪的测量模型；设定运动台的轨迹，在不同轨迹下获取外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪分别测量的运动台位移，以外差式激光干涉仪的测量数据为参考，计算外差式光栅干涉仪测量模型中的位移补偿参数。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。
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公开(公告)号：CN109813233A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910089381.8
申请日：2019-01-30
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于小波变换的相位细分方法，包括将运动光栅和固定光栅形成的光学干涉信号转换成电信号，并对所述电信号进行采样，得到采样数据；将所述采样数据进行小波变换得到各采样点的瞬时频率，对各段采样点进行拟合并得到第一频率曲线；确定第一频率曲线中相邻两端点之间的中间频率，并将各两端点之间的中间频率点进行拟合得到优化频率曲线，两端点之间的采样点按照拟合的频率曲线分布；对优化频率曲线进行误差检测，得到采样点的优化频率；计算从时间t处开始经过时间Δt后，所在时间点的瞬时频率f(t+Δt)，设经过时间间隔Δt后得到的相位是2π/n，计算时间间隔Δt的同时进行计数N；根据运动关系计算出所述运动光栅运动的距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108731601A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810940437.1
申请日：2018-08-17
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种空间光路的光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，所述测量装置设置于运动台上；测量装置包括一具有凹槽结构的承载台承载台，凹槽结构的底面上设置有4个平面光栅，在每个平面光栅的上方设置有一读头；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。
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公开(公告)号：CN210427847U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201920847719.7
申请日：2019-06-06
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种非对称性弯曲结构的太赫兹集成器件，包括衬底和水平设置在衬底上的金属薄膜，所述金属薄膜设置有三块，由位于中心的呈直线状的中心金属薄膜，和设置在中心金属薄膜两侧的侧部金属薄膜构成，所述侧部金属薄膜呈圆弧状，开口远离中心金属薄膜一侧设置，两块所述侧部金属薄膜的曲率圆圆心的连线与中心金属薄膜之间的夹角小于90度，所述中心金属薄膜和侧部金属薄膜的两侧壁上均设置有规则排列的锯齿结构。本实用新型的器件通用性较强，在不同波段下依然可以产生预设效果，无需改变设计好的几何结构，器件的适用范围还会扩展，可进行大部分太赫兹波段的研究。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209485272U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201821328982.7
申请日：2018-08-17
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型提供一种光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，运动台处于封闭的微环境区域内，测量装置设置于运动台上；测量装置包括承载台；承载台上设置有4个读头，每个读头分别处于一四边形的顶点处；在每个读头的上方设置有一平面光栅；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209217976U
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201920033836.X
申请日：2019-01-09
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型提供了一种压电陶瓷驱动的微位移放大机构，压电陶瓷伸长以推动所述第一柔性杆向左倾斜，当第一电变液盒中的电变液呈液态，第二电变液盒中的电变液呈固态时，输出臂向左移动，当所述第一电变液盒中的电变液呈固态，所述第二电变液盒中的电变液呈液态时，所述输出臂向右移动。通过增加电变液盒作为位移方向的控制，实现了位移由简单的单向输出变为双向输出，位移方向具有前进和后退两个方向，为小范围往复运动提供了一种简便方法。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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