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公开(公告)号：CN112313510A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980040370.9
申请日：2019-05-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 缺陷检测装置(10)具备：激励源(11)，其能够配置于被检查物体(S)的表面的任意的部位，在该被检查物体(S)内激励某一个振动模式处于优势且指向规定的方向前进的弹性波；照明部(脉冲激光源(13)、照明光透镜(14))，其使用激光源来对所述被检查物体的表面的照明区域进行频闪照明；位移测定部(散斑剪切干涉仪(15))，其通过散斑干涉法或者散斑剪切干涉法，来在所述弹性波的互不相同的至少3个相位下一并测定所述照明区域内的各点的前后方向的位移；以及反射波散射波检测部(16)，其基于由所述位移测定部测定出的位移，来检测所述弹性波的反射波和散射波中的任一方或者两方。
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公开(公告)号：CN108760878B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201810270116.5
申请日：2018-03-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N29/04
Abstract: 本发明提供能均匀地检查被检查物体的测定区域的振动测定装置，具备：对对象物体激发振动的激振部；激光源；将激光源的光照射到测定区域的一部分区域、并使照射区域在测定区域内移动的扫描部；对测定区域的各点依次照射将照明时间宽度设为了振动的周期的1/3以下的激光的照射控制部；位移测定部，其对将来自对象物体的物体光分割成两份而得的两个光束设置角度差而使它们发生干涉，对测定区域的各点测定由此得到的干涉光，测定照射区域内的接近的2点间的相对前后方向的位移；及振动状态决定部，其基于测定区域的各点的与相位同步的时刻的振动的1个周期内的不同的3点以上的时刻的接近2点间的前后方向的位移，决定测定区域整体的振动状态。
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公开(公告)号：CN109416346A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201680087039.9
申请日：2016-06-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 一种声波传播影像化装置(10)，具备：声波赋予部(12)，其在作为测定对象的物体(11)的表面的规定位置处赋予时间波形由连续性的周期函数表示的声波；物理量测定部(15)，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的物理量进行测定，并且对该周期性的变化中的至少三个不同的相位处的物理量进行测定；周期函数获取部(23)，其基于所述至少三个不同的相位处的物理量，来求出表示该物理量的周期性的变化的周期函数。
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公开(公告)号：CN112313510B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN201980040370.9
申请日：2019-05-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 缺陷检测装置(10)具备：激励源(11)，其能够配置于被检查物体(S)的表面的任意的部位，在该被检查物体(S)内激励某一个振动模式处于优势且指向规定的方向前进的弹性波；照明部(脉冲激光源(13)、照明光透镜(14))，其使用激光源来对所述被检查物体的表面的照明区域进行频闪照明；位移测定部(散斑剪切干涉仪(15))，其通过散斑干涉法或者散斑剪切干涉法，来在所述弹性波的互不相同的至少3个相位下一并测定所述照明区域内的各点的前后方向的位移；以及反射波散射波检测部(16)，其基于由所述位移测定部测定出的位移，来检测所述弹性波的反射波和散射波中的任一方或者两方。
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公开(公告)号：CN113167767B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201880099763.2
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113728209B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202080031419.7
申请日：2020-01-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 该干涉图像摄像装置包括第1光学构件(21)和第2光学构件(22)，并且具有：第1部分(8)，其使第1光束(7)透过并对于入射光改变出射光的方向；以及第2部分(10)，其使第2光束(9)相对于第1光束(7)的相位变化。
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公开(公告)号：CN112154320B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201880093664.3
申请日：2018-12-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 缺陷检测装置(10)具备：激光光源(11)，其向被检查物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；激光光源控制部(15)，其控制激光光源，使得以比被检查物体(S)上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；干涉仪(散斑剪切干涉仪(14))，其生成所述激光在测定区域反射出的反射激光与从激光光源(11)射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；检测器(成像传感器(145))，其检测所述干涉光的在测定区域(R)的各点的强度；移相器(143)，其使反射激光和参照激光中的任意激光的相位偏移；累计强度参数决定部(16)，其通过移相器(143)使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述各点的强度进行累计所得到的累计强度；干涉度分布生成部(17)，其基于针对所述各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及缺陷检测部(18)，其基于所述测定区域(R)内的所述干涉度的分布，来检测测定区域(R)中的缺陷。
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公开(公告)号：CN116490767A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202180063141.6
申请日：2021-09-15
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明的缺陷检查装置(100)包括：拍摄部(影像传感器(35))，拍摄检查对象(7)；以及显示部(6)，显示基于由拍摄部所拍摄的图像的图像。而且，缺陷检查装置(100)包括控制部(4)，所述控制部(4)受理对显示于显示部(6)的图像(静态图像(61))上的规定的关注区域(S)的标记(64)的设定。并且，控制部(4)构成为，基于由拍摄部所拍摄的图像来检查检查对象(7)的缺陷，并且使标记(64)的图像重叠于显示于显示部(6)的检查结果图像(叠加图像(65))的与规定的关注区域(S)对应的位置。
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公开(公告)号：CN114930168A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080091392.0
申请日：2020-10-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 所述缺陷检查装置(100)包括：激振部，激发弹性波；照射部(2)，对激光进行照射；测定部(3)，对经干涉的激光进行测定；以及控制部，通过使激振部为了对检查对象(P)激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，针对多个频率，获取与检查对象(P)受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象(P)的缺陷检查的推荐频率(F)。
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