硬质皮膜和模具
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107034469A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201610957936.2

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 提供具有优异的耐摩耗性的硬质皮膜及表面形成有该硬质皮膜的模具。硬质皮膜(12)是至少含有铬(Cr)、元素M和碳(C)各元素的硬质皮膜。元素M是从由属于周期表的4a族的元素、属于周期表的5a族的元素、属于周期表的6a族的元素中除去Cr以外的元素、铝(Al)、硅(Si)和硼(B)构成的群中选择的至少一种元素。硬质皮膜12中的C的原子比为0.03以上且0.5以下。

    半导体检测装置用接触式探针

    公开(公告)号:CN102023241A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN201010273558.9

    申请日:2010-09-03

    CPC classification number: G01R3/00 G01R1/06761 H01R13/03

    Abstract: 本发明目的在于提供一种半导体检测装置用接触式探针,其是在探针与焊料接触时,防止作为焊料主要成分的锡粘着在探针的接触部,而将抗锡粘着性优异的非晶碳系导电性皮膜形成于基材表面而成的半导体检测装置用接触式探针。一种在导电性基材表面形成非晶碳系导电性皮膜而成的半导体检测装置用接触式探针,其特征在于,所述非晶碳系导电性皮膜具有如下外表面:在原子力显微镜下4μm2的扫描范围中,表面粗糙度(Ra)为6.0nm以下,均方根斜率(RΔq)为0.28以下,表面形态的凸部的前端曲率半径的平均值(R)为180nm以上。

    硬质皮膜及硬质皮膜被覆工具

    公开(公告)号:CN100584993C

    公开(公告)日:2010-01-27

    申请号:CN200710137320.1

    申请日:2007-07-20

    CPC classification number: C23C30/005

    Abstract: 提供一种使硬度、耐氧化性、还有韧性提高,耐磨耗性优异的硬质皮膜,以及采用该硬质皮膜形成的硬质皮膜被覆工具。其是被覆在工具的表面的硬质皮膜,其中,硬质皮膜的组成由Al1-a-b-cSiaMgbMc(BxCyNz)构成,M是从Nb、V、Zr、Cr、Ti、Cu及Y选择出的至少1种以上的元素,所述a、b、c、x、y、z是原子比时,满足0≤a≤0.35,0≤b≤0.2,0.03≤a+b≤0.5,0≤c≤0.1,且以原子比计,0.9≤Al+Si+Mg,0≤x≤0.2,0≤y≤0.4,0.5≤z≤1,x+y+z=1。另外,一种采用硬质皮膜形成的硬质皮膜工具,其中,该硬质皮膜是前述记载的硬质皮膜。

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