公开(公告)号：CN1494170A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN03153017.6

申请日：2003-08-07

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一

IPC: H01L49/00 ,  H01L29/84 ,  G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0136 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 一种容性动量传感器，包括衬底(1)、平衡块(11)、可移动电极(10a、10b)、固定器(17a、17b)、弹簧(12)、以及应变缓冲器(13)。平衡块(11)通过动量而位移。可移动电极(10a、10b)与平衡块(11)结合在一起。固定器(14)固定到衬底(1)上以将平衡块(11)和可移动电极(10a、10b)悬挂在衬底(1)的上方。固定电极(17a、17b)面对可移动电极(10a、10b)设置。由响应动量产生的可移动电极(10a、10b)的位移作为电极(10a、10b、17a、17b)之间的电容变化而被检测。弹簧(12)设置在固定器(14)和平衡块(11)之间并响应动量而弹性变形，以便可移动电极(10a、10b)移动对应该动量的距离。应变缓冲器(13)位于固定器(14)和弹簧(12)之间，以便减少在衬底(1)上产生的应变对弹簧(12)的影响。

公开(公告)号：CN1484001A

公开(公告)日：2004-03-24

申请号：CN03103740.2

申请日：2003-02-18

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一

IPC: G01D5/241 ,  G01P15/125 ,  G01C19/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 在电容式动态量传感器中，在垂直于预定变形方向的方向延伸的横梁部分(22)中的横梁的宽度(B)与设置在可移动电极(24)和固定电极(32，42)之间在预定变形方向上的缝隙(D)基本上一致。因此，防止了制造误差对该电容式动态量传感器的灵敏度的影响。例如，由于将该横梁的宽度和该缝隙设计成长度一致，允许有±2.5％的制造容限误差。