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公开(公告)号：CN112154320B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201880093664.3
申请日：2018-12-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 缺陷检测装置(10)具备：激光光源(11)，其向被检查物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；激光光源控制部(15)，其控制激光光源，使得以比被检查物体(S)上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；干涉仪(散斑剪切干涉仪(14))，其生成所述激光在测定区域反射出的反射激光与从激光光源(11)射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；检测器(成像传感器(145))，其检测所述干涉光的在测定区域(R)的各点的强度；移相器(143)，其使反射激光和参照激光中的任意激光的相位偏移；累计强度参数决定部(16)，其通过移相器(143)使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述各点的强度进行累计所得到的累计强度；干涉度分布生成部(17)，其基于针对所述各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及缺陷检测部(18)，其基于所述测定区域(R)内的所述干涉度的分布，来检测测定区域(R)中的缺陷。
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公开(公告)号：CN114930168A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080091392.0
申请日：2020-10-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 所述缺陷检查装置(100)包括：激振部，激发弹性波；照射部(2)，对激光进行照射；测定部(3)，对经干涉的激光进行测定；以及控制部，通过使激振部为了对检查对象(P)激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，针对多个频率，获取与检查对象(P)受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象(P)的缺陷检查的推荐频率(F)。
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公开(公告)号：CN113167767A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201880099763.2
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115885031A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202180052328.6
申请日：2021-07-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: C12M1/00
Abstract: 细胞培养容器(10)包括：容器主体(11)、插入式细胞培养器(12)，其具有筒状部(12a)和透氧性的隔膜(12b)；以及盖构件(13)。在容器主体形成有与容器主体的内部连通的开口(11aa)。筒状部包括上端和下端，该筒状部以下端位于容器主体的内部的方式插入于开口。筒状部的下端侧由隔膜封闭。筒状部的上端侧由盖构件封闭。盖构件包括朝向筒状部的内部侧的下表面(13b)。在盖构件形成有在下表面与筒状部的内部连通的电极插入口(13e、13f)和培养基排出口(13d)。隔膜和下表面之间的距离随着从电极插入口的下表面侧的端部靠近培养基排出口的下表面侧的端部而增大。
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公开(公告)号：CN109416346B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201680087039.9
申请日：2016-06-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 一种声波传播影像化装置(10)，具备：声波赋予部(12)，其在作为测定对象的物体(11)的表面的规定位置处赋予时间波形由连续性的周期函数表示的声波；物理量测定部(15)，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的物理量进行测定，并且对该周期性的变化中的至少三个不同的相位处的物理量进行测定；周期函数获取部(23)，其基于所述至少三个不同的相位处的物理量，来求出表示该物理量的周期性的变化的周期函数。
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公开(公告)号：CN109030624B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201810601368.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供能够容易地测量缺陷的深度的缺陷检测方法，其包括：位移统括测定工序，一边在被检查物体的整个检查区域内激发第1弹性波，一边对该检查区域内的该被检查物体的整个表面进行频闪照明，并控制弹性波的相位和频闪照明的时刻，由此，在该弹性波的互不相同的至少3个相位下统括测定检查区域的各点的前后方向的位移；缺陷位置确定工序，根据该至少3个相位下的检查区域的各点的前后方向的位移来确定缺陷在该检查区域的表面上的位置即表面位置；和深度方向信息获取工序，从抵接在包含用缺陷位置确定工序确定的表面位置的所述表面的限定区域内的探头朝表面位置的内部投射第2弹性波，根据其响应波来求该缺陷的深度方向的位置及/或大小。
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公开(公告)号：CN112154320A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201880093664.3
申请日：2018-12-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 缺陷检测装置(10)具备：激光光源(11)，其向被检查物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；激光光源控制部(15)，其控制激光光源，使得以比被检查物体(S)上产生的振动的周期长的时间连续地或准连续地输出激光；干涉仪(散斑剪切干涉仪(14))，其生成所述激光在测定区域反射出的反射激光与从激光光源(11)射出的参照激光发生干涉所得到的干涉光；检测器(成像传感器(145))，其检测所述干涉光的在测定区域(R)的各点的强度；移相器(143)，其使反射激光和参照激光中的任意激光的相位偏移；累计强度参数决定部(16)，其通过移相器(143)使所述相位偏移为不同的三个以上的相位，在所述三个以上的相位下分别求出在比所述振动的周期长的累计时间内对所述各点的强度进行累计所得到的累计强度；干涉度分布生成部(17)，其基于针对所述各点在所述三个以上的相位下分别求出的所述累计强度来求出干涉度的分布；以及缺陷检测部(18)，其基于所述测定区域(R)内的所述干涉度的分布，来检测测定区域(R)中的缺陷。
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