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公开(公告)号:CN111263680B
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN201780096206.0
申请日:2017-10-25
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B23K26/362
Abstract: 加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL);第一位置变更装置(12、15、1122),变更通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)及物体的至少一者的位置;及控制装置(18),以如下方式控制第一位置变更装置,即,一面变更照射区域及物体的至少一者的位置,一面对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度,由此形成用于减小物体的表面的相对于流体的摩擦阻力的构造。
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公开(公告)号:CN117123911A
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN202311295054.0
申请日:2018-10-25
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/40 , B23K26/142 , B23K26/08
Abstract: 本发明提供一种加工装置及加工方法,可适当地对物体形成构造。加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL);及间隔壁构件(132),包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面的一部分的空间。
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公开(公告)号:CN116727865A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310099446.3
申请日:2017-10-25
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B23K26/352 , B23K26/362 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/00 , B23K37/02 , B23K26/12 , B23K26/402 , B23K26/06 , B23K101/34 , B23K103/00 , B23K101/00
Abstract: 本发明提供一种加工装置及移动体的制造方法。加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL);及第一变更装置(1121、12),变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系;且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。
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公开(公告)号:CN116727845A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310097391.2
申请日:2017-10-25
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B23K26/142 , B23K26/362 , B23K26/12 , B23K26/354 , B23K26/03 , B23K26/14 , B64C21/10 , B23K26/0622 , B23K26/067 , B23K26/082 , B23K26/16 , F15D1/00
Abstract: 本发明提供一种加工装置及移动体的制造方法。加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL);及第一变更装置(41e),变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布;且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。
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公开(公告)号:CN112930242A
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN201980071312.2
申请日:2019-10-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 加工系统包括:照射光学系统,将来自光源的能量射束照射至物体;物体载置装置,载置物体;受光装置,设于物体载置装置,接受来自照射光学系统的能量射束;以及测量装置,对所述受光装置以及与所述受光装置相关的部位的位置中的至少一者进行测量。加工系统使物体载置装置移动至受光装置可接受能量射束的位置,并且使物体载置装置移动至可由测量装置来对受光装置的位置进行测量的位置。进而,加工系统使用与受光装置接受能量射束时的物体载置装置的位置相关的第一信息、及与使用测量装置来测量受光装置时的物体载置装置的位置相关的第二信息,来控制由加工装置进行加工时的物体载置装置的位置、与由测量装置进行测量时的物体载置装置的位置。
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