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公开(公告)号：CN101479681A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200780024501.1
申请日：2007-06-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0664 , Y10T137/85938 , Y10T137/87314 , Y10T137/87539
Abstract: 本发明提供一种流量比可变型流体供给装置，能够使对半导体制造装置用腔室的流量比可变型气体分流供给装置大幅地小型化和低成本化，并且能够简单且高精度地进行流量比的调整。一种流量比可变型流体供给装置，将从流量控制装置(6)供给的流量Q的气体以既定的流量Q1、Q2向第1分流管路(1)和第2分流管路(2)分流，并将流量Q的气体从两分流管路(1、2)供给到腔室内，其中，在上述第1分流管路(1)上设置有开口面积S1的第1节流部(3)，另外将上述第2分流管路(2)作为并列状地连结多条分支管路(2a～2n)的管路，在上述各分支管路(2a～2n)上分别设置有开口面积S2a～S2n的节流部(4a～4n)，并且在上述分支回路的全部或一部分上设置有开闭阀(Vb～Vn)，通过该开闭阀(Vb～Vn)的开或闭来调整第2分流管路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o，从而以流量比Q1/Q2使流量Q的气体流向各分流管路(1、2)分流，所述流量比与上述第1分流回路(1)的第1节流部(3)和上述第2分流回路(2)的能流通的节流部的合计开口面积S2o的比相等。
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公开(公告)号：CN109074104B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN108496064B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201780004303.2
申请日：2017-01-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够测定流量的气体供给装置，具备：流量控制器，其控制所流通的气体流量；第一隔断阀，其设置在所述流量控制器的下游；第二隔断阀，其设置在与第一隔断阀的下游侧连通的所述第一流路；第二流路，其从所述第一流路分支而出；第三隔断阀，其设置于所述第二流路；压力检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的压力；温度检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的温度；体积测定用箱，其与所述第三隔断阀的下游连接并具有已知体积；以及运算控制装置，其通过在所述第三隔断阀的打开状态和关闭状态下运用波义耳定律求出由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路体积，并且利用所述流路体积、所述压力检测器以及所述温度检测器的检测值计算所述流量控制器的流量。
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公开(公告)号：CN109477586B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201780021785.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流孔内置阀(10)，其具备：基部(2)，其具有收容凹部(2A)、第一气体流路(21)以及第二气体流路(22)；阀座体(12)，其具有环状的阀座(12b)以及贯通孔(12a)；内盘(13)，其保持阀座体；阀体(11a)，其能够抵接于阀座；以及流孔体(14)，其包括流孔(18)；收容凹部为具有扩径部(2W)和狭径部(2N)的阶梯状的凹部，阀座体(12)通过被内盘(13)按压而保持固定在流孔体上，第一气体流路(21)通过狭径部的壁面和流孔体之间与阀室(10a)连通，第二气体流路(22)经由流孔体的贯通孔以及阀座体的贯通孔与阀室(10a)连通。
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公开(公告)号：CN108496064A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201780004303.2
申请日：2017-01-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够测定流量的气体供给装置，具备：流量控制器，其控制所流通的气体流量；第一隔断阀，其设置在所述流量控制器的下游；第二隔断阀，其设置在与第一隔断阀的下游侧连通的所述第一流路；第二流路，其从所述第一流路分支而出；第三隔断阀，其设置于所述第二流路；压力检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的压力；温度检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的温度；体积测定用箱，其与所述第三隔断阀的下游连接并具有已知体积；以及运算控制装置，其通过在所述第三隔断阀的打开状态和关闭状态下运用波义耳定律求出由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路体积，并且利用所述流路体积、所述压力检测器以及所述温度检测器的检测值计算所述流量控制器的流量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104321710B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201380021770.8
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/524
CPC classification number: G05D7/0647 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/52491 , Y10T137/87917
Abstract: 可变流孔型压力控制式流量控制器具备压力控制部和可变流孔部，使流通于可变流孔部的流孔的流体的流量为QP1=KP1(但是，P1是流孔上游侧压力，K是常数)而运算，并且，使前述流孔为由直接碰触型金属隔膜阀的阀座与隔膜之间的环状的间隙构成的流孔，通过向前述压力控制部的流量运算控制部的设定流量信号(QS)和向可变流孔部的流孔开度运算控制部的流孔开度设定信号(Qz)的变更而进行流量控制范围的切换以及该流量控制范围中的流量控制，其中，由流孔开度运算控制部、通过来自流孔开度运算控制部的流孔控制信号而驱动的步进电动机、通过步进电动机而转动的偏芯凸轮、通过偏芯凸轮而经由隔膜压件来控制阀开度的直接碰触型金属隔膜阀构成前述可变流孔部。
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公开(公告)号：CN103282748B9
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201180064390.3
申请日：2011-11-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F5/00 , G01F1/34 , G01F1/86 , G01F15/046
Abstract: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定，并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。
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公开(公告)号：CN103003766B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201180037208.5
申请日：2011-06-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F7/005 , G01F1/34 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F25/0053 , G05D7/0652 , Y10T137/0324
Abstract: 仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放，而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭，进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R？Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。
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公开(公告)号：CN103403426B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201180056858.4
申请日：2011-11-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0041 , F16K31/1221 , F16K37/00 , F16K37/0083 , Y10T137/8158 , Y10T137/8242
Abstract: 本发明提供一种容易向自动阀组装以及容易确保组装时的检测精度，并且也能容易地适用于现有的自动阀中的自动阀用开度检测装置。其具有能够拆装地安装在自动阀(2)上的基板(4)、位移传感器(5)和标杆(6)，标杆(6)具有通过位移传感器(5)检测的倾斜状的检测面(6a)。标杆(6)固定在基板(4)上。位移传感器(5)经由传感器支承部件(21)支承在阀杆(14)上，传感器支承部件(21)经由引导机构支承在基板(4)上。
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公开(公告)号：CN103403426A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201180056858.4
申请日：2011-11-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0041 , F16K31/1221 , F16K37/00 , F16K37/0083 , Y10T137/8158 , Y10T137/8242
Abstract: 本发明提供一种容易向自动阀组装以及容易确保组装时的检测精度，并且也能容易地适用于现有的自动阀中的自动阀用开度检测装置。其具有能够拆装地安装在自动阀(2)上的基板(4)、位移传感器(5)和标杆(6)，标杆(6)具有通过位移传感器(5)检测的倾斜状的检测面(6a)。标杆(6)固定在基板(4)上。位移传感器(5)经由传感器支承部件(21)支承在阀杆(14)上，传感器支承部件(21)经由引导机构支承在基板(4)上。
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