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公开(公告)号:CN103370776A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201280008788.X
申请日:2012-09-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/50 , H05B33/08 , H05B33/10
CPC classification number: H01L51/5253 , H01L27/1214 , H01L27/1225 , H01L27/1292 , H01L51/0004 , H01L51/0545 , H01L51/0558 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管元件及其制造方法、有机EL显示元件、以及有机EL显示装置。薄膜晶体管元件形成在通过隔壁的围绕而构成的第1开口部内。源电极、漏电极层叠形成在栅电极的上方,在与叠层方向交叉的方向上相互隔开间隔而排列设置。绝缘层插置在栅电极与源电极及漏电极之间。在第1开口部的底部,半导体层形成在源电极与漏电极之间的间隙以及源电极和漏电极之上,与源电极和漏电极紧密接触。在第1开口部底部的绝缘层上,亲液层与源电极、漏电极分别地形成,具有比绝缘层高的亲液性,在俯视第1开口部的底部的情况下,其表面积的中心位置从第1开口部底部的面积的中心位置向一方侧远离。