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公开(公告)号：CN112518102A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011205705.9
申请日：2020-11-02
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明提出一种蝶翅仿生结构色的制备方法，包括以下步骤：将衬底放置在位移台上，并将光刻胶滴涂于衬底上表面；采用激光束依次通过二维扫描振镜组件、光学系统组件、物镜后聚焦到光刻胶与衬底的交界面；通过控制入射激光的曝光剂量形成层状聚焦光斑；根据路径设计调节控制二维扫描振镜组件的摆动使聚焦出射的光束在XY平面内扫描曝光，并根据路径设计调节控制位移台在Z方向上相对于层状聚焦光斑移动，形成蝶翅仿生结构色；采用无水乙醇清洗衬底除去剩余的光刻胶，得到固化的蝶翅仿生结构色结构。本发明还提出了一种蝶翅仿生结构色的制备系统，应用上述蝶翅仿生结构色的制备方法能够高效率、高保真制备蝶翅仿生结构色。
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公开(公告)号：CN116559986B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310548259.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明关于一种点阵投射器装置及其制备方法，涉及达曼光栅技术领域。包括：提出一种复合达曼光栅结构，将两个二维正交达曼光栅相位相叠加形成一个双周期复合达曼光栅；基于matlab依据标量衍射理论对双周期达曼光栅进行的光学仿真，得到衍射点阵图；利用衍射点阵图，采用DMD投影光刻制备复合达曼光栅器件；复合达曼光栅性能检测：通过成像实验评估所制备的双周期复合达曼光栅的远场光学响应和多光束质量。本发明双周期复合达曼光栅的特征尺寸和两个周期中周期较小的达曼光栅特征尺寸一致，在提供大视场点阵的情况下不会增加制作难度，且双周期复合达曼光栅是一个器件，相较于耦合达曼光栅，衍射效率有了大大的提升。
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公开(公告)号：CN116559986A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310548259.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明关于一种点阵投射器装置及其制备方法，涉及达曼光栅技术领域。包括：提出一种复合达曼光栅结构，将两个二维正交达曼光栅相位相叠加形成一个双周期复合达曼光栅；基于matlab依据标量衍射理论对双周期达曼光栅进行的光学仿真，得到衍射点阵图；利用衍射点阵图，采用DMD投影光刻制备复合达曼光栅器件；复合达曼光栅性能检测：通过成像实验评估所制备的双周期复合达曼光栅的远场光学响应和多光束质量。本发明双周期复合达曼光栅的特征尺寸和两个周期中周期较小的达曼光栅特征尺寸一致，在提供大视场点阵的情况下不会增加制作难度，且双周期复合达曼光栅是一个器件，相较于耦合达曼光栅，衍射效率有了大大的提升。
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