公开(公告)号：CN1275066C

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200410089799.2

申请日：2004-10-10

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦 ,  森惠一 ,  吉田惠 ,  伊卷理 ,  滨田义彦 ,  近藤健治

IPC: G02B26/00 ,  G02B6/35 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: G02B6/358 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  H02N1/008

Abstract: 一种小型可移动设备包括形成于基底上并适于在平行于该基底的片表面方向上移位的可移动部分，形成并固定安装于该基底上的固定部分，及铰链，每个铰链的相对端部连接到该可移动部分和固定部分并呈现两反向弯曲状态，当其呈现任何一种弯曲状态，该铰链可通过自保持作用在两个位置有效保持该可移动部分。该基底形成有壁表面，这些壁表面设置成与铰链的相对面在整个铰链的可移动范围中都相对。当铰链呈现两反向弯曲状态任何一种(呈现生产初始状态)时，在铰链与设置在其相对侧的壁表面在铰链长度方向每个点上彼此相等。这克服了在生产中湿蚀后干燥步骤期间存在的困难，克服了可仅在铰链的一侧剩下液体使得该铰链保持吸附在壁表面上。

公开(公告)号：CN1232850C

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN03147028.9

申请日：2003-07-30

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦

IPC: G02B6/35 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H01G5/16

CPC classification number: H02N1/006

Abstract: 一个具有固定电极底板8和一个移动电极板2的显微机械加工的移动设备，其中移动电极板2通过锚定部分23和弯曲部分21由支撑框架10所支撑，并被保持在距固定电极底板8一个预定距离处，其中来自AC驱动电路60的AC驱动电压被施加到固定电极底板8和移动电极板2上，以通过静电力来驱动移动电极板2与固定电极底板8的接触，并保持它们之间的接触。

公开(公告)号：CN1677157A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200410095156.9

申请日：2004-10-31

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 吉田惠 ,  近藤健治 ,  伊卷理 ,  滨田义彦 ,  加藤嘉睦 ,  森惠一

IPC: G02B26/02 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B6/358 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584

Abstract: 形成在基底上的光学器件包括：多个形成在基底顶面的光纤通道；反射镜，在配置在光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；可移动杆，一端支撑反射镜；梳形静电激励器，在与可移动杆的中间部分相关的位置，在可移动杆长度方向上移动可移动杆；多个支撑梁，在可移动杆的驱动力施加点的两侧上的两端附近，可移动支承可移动杆，驱动力由梳形静电激励器产生。支撑梁在关于平行于可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持可移动杆，由多个支撑梁支承可移动杆的点关于由梳形静电激励器产生的驱动力的施加点对称。即使由梳形静电激励器产生的驱动力包括不同的矢量分量，可抑制可移动杆在驱动可移动杆的所需方向外的方向上的移动。

公开(公告)号：CN1619351A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410102355.8

申请日：2004-09-30

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦 ,  吉田惠 ,  森惠一 ,  近藤健治 ,  滨田义彦 ,  伊卷理

IPC: G02B26/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

CPC classification number: G02B6/3584 ,  B81B3/0083 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3596 ,  G02B26/0841

Abstract: 本发明涉及微光学装置及其制造方法。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。

公开(公告)号：CN1607410A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN200410100529.7

申请日：2004-10-10

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦 ,  森惠一 ,  吉田惠 ,  近藤健治 ,  滨田义彦 ,  伊卷理

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/00

CPC classification number: G02B6/3566 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  G02B6/3636 ,  G02B6/3692

Abstract: 本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。

公开(公告)号：CN1402029A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：CN02127615.3

申请日：2002-08-05

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦

IPC: G02B6/24 ,  G02F1/19

CPC classification number: G02B6/32 ,  G02B6/2552 ,  G02B6/262 ,  G02B6/421 ,  G02B6/4249

Abstract: 本发明提供一种具有能基本上独立改变到束腰部位置上的距离(WD)和束腰直径(W)的聚光功能的光纤和能高效率和高精度地制造光纤的方法。使具有与该单模光纤具有同一直径并由折射率相同的光纤组成的短块状的垫片连接在该单模光纤的端面上；使与上述单模光纤具有同一直径并折射率在径向连续变化的短块状的渐变折射率的光纤连接在该垫片的端面上。通过调整上述垫片和/或GI光纤的长度将束腰距离WD和/或束腰直径(W)设定在适合于所述光耦合的光学器件的值上。