公开(公告)号：CN102420580B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201110264614.7

申请日：2011-09-05

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/02 ,  H01L41/09 ,  H01L41/053

CPC classification number: H01L41/23 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035

Abstract: 本发明提供一种压电装置，就该压电装置而言，基部与盖部的接合强度强，从压电装置的外侧向空腔内或其反向的气体等的泄漏少。压电装置(100)收放有利用电压的施加进行振动的压电振动片(10)。压电装置具备：具有以规定的宽度形成在平面的周围的第1端面(M1)的盖部(11)；以及具有接合在盖部的第1端面的第2端面(M2)与从第2端面凹进的凹部的基部(12)。盖部的第1端面及基部的第2端面的至少一方为粗糙面，在粗糙面上分别形成金属膜(AC1、AC2)，盖部与基部利用封装材料(LG)通过金属膜进行接合。

公开(公告)号：CN103311430A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310081559.7

申请日：2013-03-14

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 早坂太一 ,  水泽周一

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/293

CPC classification number: H01L41/0805 ,  H01L24/97 ,  H01L41/29 ,  H01L2224/16225 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/131 ,  H03H2003/022 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种压电装置以及压电装置的制造方法，压电装置具有：压电振动片，包含形成激振电极的振动部及引出电极；基础板，在一个主面上载置压电振动片且形成有电性连接于引出电极的连接电极，在另一个主面上形成有安装端子；以及盖板。安装端子的至少一部分包括：第1金属膜，通过溅镀或者真空蒸镀而层叠多个金属层；第2金属膜，层叠与第1金属膜同样的多个金属层，且以覆盖第1金属膜的方式形成，或者形成于第1金属膜的表面的一部分上，且第2金属膜的面积不同于第1金属膜；以及无电解镀敷膜，至少在第2金属膜的表面通过无电解镀敷而形成。本发明的压电装置以及压电装置的制造方法，能够防止通过无电解镀敷而形成的电极的剥离。

公开(公告)号：CN103259504A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310053809.6

申请日：2013-02-19

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一 ,  高桥岳宽

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/10

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/1035 ,  H03H2003/022 ,  H03H2003/0485 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种压电装置的制造方法及压电装置。压电装置的制造方法包括：接合工序(S131)，将压电晶片与第1晶片予以接合；以及准备工序(S132)，分别准备第1端子遮罩与第2端子遮罩，第1端子遮罩用于形成在底面上形成的电源用的及振动频率的输出用的一对热端子，第2端子遮罩用于形成一对热端子及接地用的接地端子。而且，制造方法包括：选择工序(S141)，在接合工序后，选择第1晶片的底面上的、第1端子遮罩的配置与第2端子遮罩的配置；以及形成工序(S142、S143、S144)，在选择工序后，经由第1端子遮罩而形成具有电源端子及输出端子的底面，或者，经由第2端子遮罩而形成具有电源端子、输出端子及接地端子的底面。

公开(公告)号：CN102891659A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210248856.1

申请日：2012-07-18

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 高桥岳宽 ,  水泽周一

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/132 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/177 ,  H03H2003/0428 ,  H03H2003/0478 ,  H03H2003/0485

Abstract: 本发明提供一种压电振动片、压电元件及压电元件的制造方法。压电振动片接合至、并夹于盖板与具有外部电极的基底板之间。压电振动片具有：位于盖板侧的第一主表面以及位于基底板侧的第二主表面。压电振动片包含：激振单元、第一激振电极、第二激振电极、框架部、一个连接部、第一引出电极以及第二引出电极。连接部包含：与两个主表面平行的平面，及与所述平面相交的侧面。第一引出电极是通过所述连接部而引出。第二引出电极是通过所述连接部而引出。第一引出电极是设置于所述连接部的侧面的至少一部分、以使第一引出电极被引出至所述框架部。