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公开(公告)号：CN107683265B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201680033710.1
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使上部结构体(10)的下表面(10a)与具有供气口(22)以及排气口(26)的下部结构体(11)的上表面(11a)对置配置而形成于对置的两个面(10a、11a)彼此之间的处理空间(13)内，利用从供气口(22)喷出并向排气口(26)吸入的处理气体(5)对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(22)与排气口(26)在玻璃板搬运方向(A)上位于分离开的位置，组装于下部结构体(11)的特定搬运机构(9)从下方支承玻璃板(3)，以供进行该玻璃板(3)的搬运，将特定搬运机构(9)配置在除了供气口(22)与排气口(26)彼此之间的区域之外的区域。
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公开(公告)号：CN107709260B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680038286.X
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。
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公开(公告)号：CN107709261A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038292.5
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(20)以及排气口(24)的下部结构体(10)的上表面与上部结构体(9)的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间(12)内，利用从供气口(20)喷出并被排气口(24)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，此时，在处理空间(12)内，供气口(20)所位于的区域的高度高于排气口(24)所位于的区域的高度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107709260A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038286.X
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。
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公开(公告)号：CN107635941A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680033716.9
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2a)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2b)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，其中，通过在搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的开口的上缘(2aa(2ba))侧和下缘(2ab(2bb))侧分别使开口宽度调节构件(8、9)移动，从而基于腔室(2)内外的气压差来调节搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的沿着上下方向的开口宽度。
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公开(公告)号：CN101909818B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200880122375.8
申请日：2008-10-01
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种玻璃板的端面磨削装置及其方法。在玻璃板的端面磨削工序中，有效地抑制磨削液向玻璃板的平面飞溅的情况，而且，实现磨削液的有效的回收。遮蔽板(6)具有从玻璃基板(2)的平面中央侧包围接触部(4)的包围部(9)。该包围部(9)的一端在砂轮(3)的旋转方向前方侧与玻璃基板(2)的端面(2a)交叉而延伸。而且，在隔着遮蔽板(6)与砂轮(3)相反的一侧的位置配置有净化喷嘴(7)。在该净化喷嘴(7)上并列排列有多个喷嘴开口部，所述多个喷嘴开口部喷射用于阻止磨削液通过遮蔽板(6)与玻璃基板(2)之间的间隙而侵入到玻璃基板(2)的平面的净化水(13)。
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公开(公告)号：CN101595033B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200880003559.2
申请日：2008-03-03
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明提供玻璃基板捆包系统(1)，其利用玻璃基板装载装置(6)和所述保护片装载装置(8)，在货盘(5)上交替地层叠玻璃基板(4)和保护片(7)并捆包，在交替地层叠玻璃基板(4)和保护片(7)时，保护片装载装置(8)将保护片(7)以仅保持了其周缘部的状态载置在利用玻璃基板装载装置(6)先行载置的玻璃基板(4)上，并且，在仅该周缘部被保持的保护片(7)上利用玻璃基板装载装置(6)载置了后续的玻璃基板(4)的阶段，解除保护片(7)的保持。
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公开(公告)号：CN102099272A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200980128533.5
申请日：2009-06-12
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , B25J15/00
CPC classification number: B25J15/0616 , B25J15/0052 , B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/04 , H01L21/67132 , H01L21/67745 , H01L21/6838
Abstract: 本发明的玻璃基板捆包装置具有：在保护片(3)上载置玻璃基板(4)的载置工作台、交替装载保护片(3)和玻璃基板(4)的装载工作台、将载置于保护片(3)上的玻璃基板(4)与保护片(3)一起保持并装载在装载工作台上的作为装载机构的玻璃基板装载装置。在此，构成玻璃基板装载装置的机械手具有保持保护片(3)及玻璃基板(4)的保持部，该保持部具有：吸附玻璃基板(4)的多个吸附垫(45)、夹持处于载置状态下的从玻璃基板(4)伸出的保护片(3)的边缘部分之中相互对置的两个边缘部(3a、3b)的夹持部(46)。
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