正型感光性树脂组合物及图案形成方法

    公开(公告)号:CN100468195C

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN03808439.2

    申请日:2003-04-18

    CPC classification number: G03F7/0233 G03F7/0007 G03F7/0226

    Abstract: 本发明提供了能够用一般浓度的氢氧化四甲铵水溶液显像,灵敏度高,析像度优良,且耐热性、平坦化程度、透明度和低吸水性等特性良好的正型感光性树脂组合物。还提供了使用该组合物形成具备半圆形或梯形等任意截面的图案的图案形成方法。本发明的正型感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂、1,2-苯醌二叠氮化合物、含有2个以上的环氧基的交联性化合物和表面活性剂,上述碱可溶性树脂是以含有羧基的丙烯酸单体和含有羟基的丙烯酸单体及N-取代马来酰亚胺为必须成分的共聚物。通过改变该组合物的后烘焙条件获得具备半圆形或梯形等任意截面的图案形状。

    正型感光性树脂组合物及图案形成方法

    公开(公告)号:CN1646991A

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN03808439.2

    申请日:2003-04-18

    CPC classification number: G03F7/0233 G03F7/0007 G03F7/0226

    Abstract: 本发明提供了能够用一般浓度的氢氧化四甲铵水溶液显像,灵敏度高,析像度优良,且耐热性、平坦化程度、透明度和低吸水性等特性良好的正型感光性树脂组合物。还提供了使用该组合物形成具备半圆形或梯形等任意截面的图案的图案形成方法。本发明的正型感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂、1,2-苯醌二叠氮化合物、含有2个以上的环氧基的交联性化合物和表面活性剂,上述碱可溶性树脂是以含有羧基的丙烯酸单体和含有羟基的丙烯酸单体及N-取代马来酰亚胺为必须成分的共聚物。通过改变该组合物的后烘焙条件获得具备半圆形或梯形等任意截面的图案形状。

    正感光性聚酰亚胺树脂组合物

    公开(公告)号:CN1556939A

    公开(公告)日:2004-12-22

    申请号:CN02818490.4

    申请日:2002-09-18

    CPC classification number: C08L79/08 G03F7/0233

    Abstract: 本发明提供一种在碱性水溶液显像时,无膜损耗、溶胀和剥离、固化后得出尺寸稳定性高的图案,最终固化膜的吸水率低、耐碱性优异的正感光性树脂组合物。该正感光性聚酰亚胺树脂组合物具有如下特征:含有具有通式(1)所示重复单元的有机溶剂可溶性聚酰亚胺、具有通式(2)所示重复单元的聚酰胺酸和通过光产生酸的化合物。式中,m、n为3以上、10000以下的整数,R1、R3为4价的有机基团,R2、R4为10 2价的有机基团,并且R2的5-100摩尔%为具有氟的2价有机基团。

    正感光性聚酰亚胺树脂组合物

    公开(公告)号:CN1468391A

    公开(公告)日:2004-01-14

    申请号:CN01816823.X

    申请日:2001-10-03

    CPC classification number: G03F7/0233

    Abstract: 本发明的正感光性树脂组合物是一种表面疏水性优良的正感光性聚酰亚胺的树脂组合物,它含有成分〔a〕、成分〔b〕、成分〔c1〕或成分〔c2〕,成分〔c1〕或成分〔c2〕占聚合物总重量的0.1~50重量%,〔a〕为含有选自酚式羟基、羧基、苯硫酚基、磺酸基的基团的溶剂溶解性聚酰亚胺,〔b〕为感光性邻醌二叠氮化合物,〔c1〕为含有以式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺,〔c2〕为含有以式(3)表示的重复单元的聚酰胺酸。(R3及R5为4价的有机基,R4及R6为含有含碳数为6以上的长链烷基或含氟烷基的2价的有机基。)

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