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公开(公告)号:CN103019034B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201210353259.5
申请日:2012-09-20
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案、MEMS结构体制造方法、干及湿蚀刻方法。所述正型感光性树脂组成物即使在对所形成的图案进行烘烤后,也能形成矩形或接近矩形的轮廓。本发明使用正型感光性丙烯酸系树脂,该正型感光性丙烯酸系树脂在主链末端上含有羧基,且含有具有3元环及/或4元环的环状醚基的重复单元,在碱性显影液中为不溶或难溶性,且通过酸的作用而变得可溶于碱性显影液中。
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公开(公告)号:CN102540726B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201110415283.2
申请日:2011-12-13
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置,所述正型感光性树脂组成物各种性能综合优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于:包含含有丁氧基甲基丙烯酰胺等的碱可溶性树脂及感放射线酸产生剂。
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公开(公告)号:CN105593200A
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201480053921.2
申请日:2014-09-10
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C07C45/46 , C07C49/84 , C07C67/29 , C07C69/63 , C07C319/20 , C07C321/28 , C07F7/18
CPC classification number: C07C45/46 , C07C49/84 , C07C67/29 , C07C319/20 , C07C69/63 , C07C323/62
Abstract: 本发明提供一种α-卤代苯乙酮化合物的制造方法及α-溴代苯乙酮化合物。所述α-卤代苯乙酮化合物的制造方法包含如下步骤:在溶剂中,于路易斯酸的存在下使特定的α-卤代羧酸卤化物与特定的苯基化合物进行反应,以路易斯酸和特定的苯基化合物成为下述摩尔比的方式进行反应,2≤路易斯酸/苯基化合物≤6。
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公开(公告)号:CN103293853A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310061467.2
申请日:2013-02-27
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置、以及液晶显示装置。本发明提供一种感光度、残膜率、及相对介电常数优异的正型感光性树脂组合物等。一种感光性树脂组合物,其包括:(A)聚合物成分,在同一聚合物或不同的聚合物中包含(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的重复单元,(a2)含有选自环氧乙烷基、氧杂环丁基、或-NH-CH2-OR(R为碳数为1~20的烷基)中的基的重复单元,及(a3)侧链末端具有羧基、且将聚合物主链与所述羧基加以连结的二价的连结基的原子数为4以上的重复单元;(B)光酸产生剂;以及(D)溶剂。
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公开(公告)号:CN102540726A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110415283.2
申请日:2011-12-13
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置,所述正型感光性树脂组成物各种性能综合优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于:包含含有丁氧基甲基丙烯酰胺等的碱可溶性树脂及感放射线酸产生剂。
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公开(公告)号:CN102227316A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN200980147878.5
申请日:2009-09-30
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B41C1/1008 , B41C1/1016 , B41C2201/02 , B41C2201/04 , B41C2201/06 , B41C2201/10 , B41C2201/14 , B41C2210/04 , B41C2210/06 , B41C2210/20 , B41C2210/22 , B41C2210/24 , B41N1/08 , C08F20/38 , G03F7/027 , G03F7/0388
Abstract: 本发明提供一种平版印刷版原版,该平版印刷版原版能够使用激光进行图像记录,并且还提供优异的抗浮渣性和优异的显影性,同时保持令人满意的印刷耐久性。还提供一种制版方法和一种新的可聚合单体。平版印刷版原版具有:载体;和图像记录层,所述图像记录层被设置在所述载体上,并含有自由基聚合引发剂和可聚合单体,所述可聚合单体具有磺酰胺基和至少2个烯键式不饱和基团;平版印刷版制版方法使用该平版印刷版原版;并且可聚合单体具有磺酰胺基和至少2个烯键式不饱和基团。
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