成型体
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107428071A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680020697.6

    申请日:2016-04-04

    CPC classification number: B29C33/40 B29C59/02

    Abstract: 本发明涉及其表面具有凹凸结构,且其具有热塑性氟树脂的成型体,该成型体具有2.0GPa~20GPa的弯曲弹性模量。本发明的成型体手感硬度大,在纳米压印工艺中可以用作具有优异的脱模性的树脂制复制模具。

    抗蚀剂层积体的形成方法
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1882882A

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN200480034295.9

    申请日:2004-11-15

    Abstract: 抗蚀剂层积体的形成方法,该抗蚀剂层积体在利用真空紫外区域的光线的照相平版法工艺中具有充分的防反射效果,并且即使在显影工艺中也具有充分的显影特性。光致抗蚀剂层积体的形成方法包括工序(I),在基板上形成光致抗蚀剂层(L1);和工序(II),在光致抗蚀剂层(L1)上通过涂布含有含氟聚合物(A)的涂层组合物形成防反射层(L2),所述含氟聚合物(A)具有亲水性基团Y,其特征为,含氟聚合物(A)具有由含亲水性基团Y的含氟乙烯型单体衍生的结构单元,并且,对于该含氟聚合物(A),(i)亲水性基团Y含有pKa小于等于11的酸性OH基团;(ii)含氟率大于等于50质量%;以及(iii)100克含氟聚合物(A)中亲水性基团Y的摩尔数大于等于0.14。

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