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公开(公告)号：CN207331056U
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201721208274.5
申请日：2017-09-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52 , C23C16/458 , D06M14/10
Abstract: 本实用新型公开材料微观表面共型镀膜系统，涉及属于表面共型镀膜技术领域。该系统包括：化学气相沉积反应腔室，与反应腔室侧面相连通的进气供给系统，位于反应腔室侧面的真空控制系统，位于反应腔室上部的电热合金丝加热系统，位于反应腔室下部的循环水冷却系统，位于反应腔室上部的石英观察窗。本实用新型的效果和益处是所形成的镀膜膜层为纳米尺度，且与原材料共型，致密均匀，厚度可控；该装置控制水浴加热温度、进气管道外缠绕电阻丝加热和采用气体流量计的方式调节进气速率，省去了质量流量控制器，降低了设备成本，简化了该装置的配置，大大降低了反应单体在进气管道中冷凝的可能性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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