公开(公告)号：CN101912833A

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN201010266807.1

申请日：2007-02-27

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 吉田顺一 ,  增市干雄 ,  高村幸宏 ,  上野博之 ,  川越理史 ,  松家毅

IPC: B05B13/04 ,  B05B15/08 ,  B05B12/08 ,  B05B15/04 ,  B05D7/00 ,  B05D3/00 ,  H05B33/10

Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。

公开(公告)号：CN100485953C

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200510133848.2

申请日：2005-12-22

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 增市干雄 ,  藤本好博

IPC: H01L27/32 ,  H01L21/82 ,  H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  H05B33/12 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L27/3283 ,  H01L51/0005 ,  H01L51/56 ,  Y10T428/3154

Abstract: 一种向形成在基板上的间隔物间供给有机EL材料时、即使是大基板尺寸也能防止有机EL材料在相邻间隔物间混色的有机EL用基板及其制造方法。对在基板(1)上通过涂敷形成的非疏油性感光材料层(2)和疏油性感光材料层(3)，对应于间隔物形成区域而用单一波长(I线)的光同时曝光后进行显影。其结果，形成具有由非疏油性材料构成的下层部(31)和由疏油性材料构成的上层部(32)组成的两层构造的间隔物(300)。因此可阻止向间隔物(300)供给的有机EL材料越过间隔物(300)顶部而移动，防止有机EL材料的混色。另外，由于形成有机层的间隔物下层部(31)由非疏油性材料形成，所以有机层剖面轮廓不会因表面张力而变化。

公开(公告)号：CN100375314C

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN03137196.5

申请日：2003-06-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 增市干雄 ,  高村幸宏 ,  森脇三造

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L27/3295

Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制法和有机EL显示装置，在向基板上形成的分隔壁之间涂布有机EL材料制造有机EL元件时，能够防止相邻的分隔壁之间的有机EL材料发生混色。其解决方法是：在有选择地向各个元件空间SP供给空穴输送材料之后，对基板加热处理使空穴输送材料干燥，形成空穴输送层。由此防止在分隔壁顶部附着空穴输送材料。然后，对其分隔壁顶部实行憎液化处理。更具体说，在分隔壁的顶部形成含氟层。而在此憎液化处理之后，向分隔壁之间供给有机EL材料。此时，由于含氟层的存在，阻止有机EL材料向其他分隔壁之间的移动，有效防止了多种颜色的有机EL材料发生混色。

公开(公告)号：CN1815749A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200510133848.2

申请日：2005-12-22

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 增市干雄 ,  藤本好博

IPC: H01L27/32 ,  H01L21/82 ,  H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  H05B33/12 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L27/3283 ,  H01L51/0005 ,  H01L51/56 ,  Y10T428/3154

Abstract: 一种向形成在基板上的间隔物间供给有机EL材料时、即使是大基板尺寸也能防止有机EL材料在相邻间隔物间混色的有机EL用基板及其制造方法。对在基板(1)上通过涂敷形成的非疏油性感光材料层(2)和疏油性感光材料层(3)，对应于间隔物形成区域而用单一波长(I线)的光同时曝光后进行显影。其结果，形成具有由非疏油性材料构成的下层部(31)和由疏油性材料构成的上层部(32)组成的两层构造的间隔物(300)。因此可阻止向间隔物(300)供给的有机EL材料越过间隔物(300)顶部而移动，防止有机EL材料的混色。另外，由于形成有机层的间隔物下层部(31)由非疏油性材料形成，所以有机层剖面轮廓不会因表面张力而变化。

公开(公告)号：CN1472993A

公开(公告)日：2004-02-04

申请号：CN03146547.1

申请日：2003-07-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 增市干雄 ,  高村幸宏 ,  森脇三造

IPC: H05B33/10 ,  B05C5/00

Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。