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公开(公告)号:CN2049351U
公开(公告)日:1989-12-13
申请号:CN89208086.8
申请日:1989-05-30
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型属半导体力传感器领域,包括硅膜芯片、力敏器件、陶瓷管座、玻璃底板几个部分。其中硅膜芯片设计成十字梁岛结构形式,力敏器件设置在应变梁接近边框的端点处,用半导体离子注入工艺制作。与通常的力传感器相比,本器件体积小,灵敏度高,而且稳定性、一致性也好,成本也较低。可广泛应用于小量程范围的力的测量、医用脉波测量等领域。
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