公开(公告)号：CN2049351U

公开(公告)日：1989-12-13

申请号：CN89208086.8

申请日：1989-05-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王言 ,  鲍敏杭

IPC: G01L1/20 ,  G01L9/02 ,  H01L49/00

Abstract: 本实用新型属半导体力传感器领域，包括硅膜芯片、力敏器件、陶瓷管座、玻璃底板几个部分。其中硅膜芯片设计成十字梁岛结构形式，力敏器件设置在应变梁接近边框的端点处，用半导体离子注入工艺制作。与通常的力传感器相比，本器件体积小，灵敏度高，而且稳定性、一致性也好，成本也较低。可广泛应用于小量程范围的力的测量、医用脉波测量等领域。

公开(公告)号：CN88211371U

公开(公告)日：1988-12-28

申请号：CN88211371

申请日：1988-01-22

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王言 ,  于连忠 ,  鲍敏杭

IPC: G01L9/06

Abstract: 本实用新型是一种芯片为双岛——梁——膜结构的半导体压力传感器。碰梁横贯双岛，并将硅膜分为对称的两个部分，力敏元件设置在硅梁上。与传统的膜式结果相比。有将应力二次集中的效果，提高了传感器的灵敏度和线性度。可用于微压测量领域，也可用力和加速度的测量领域。