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公开(公告)号：CN106066923A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610458140.2
申请日：2016-06-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5081
Abstract: 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比gn为：第n级磁开关的环形磁芯体积Voln为：磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数mopt为：mopt＝2lnG，根据获得的最佳脉冲压缩级数mopt确定磁脉冲压缩网络的级数，根据第n级磁开关的磁芯体积Voln确定磁开关的体积，根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。
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公开(公告)号：CN105867075A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610444231.0
申请日：2016-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2004 , G03F7/2008 , G03F7/70033 , G03F7/70175
Abstract: 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
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公开(公告)号：CN104923808A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510363157.5
申请日：2015-06-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B21/00
Abstract: 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
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公开(公告)号：CN103433507B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310435460.2
申请日：2013-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，属于光学及精密加工领域。以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底。按照此方案的技术，要求加工过程中精度控制非常严格，增加了加工成本的问题。方法是：装卡收集镜筒坯1；精车加工中的粗车加工；半精车加工；精车加工；镀膜处理；手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。本发明用于加工制作极紫外光刻光源中的光学收集镜。
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公开(公告)号：CN104570623A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510084936.1
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统，涉及Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源技术。它为了解决常规的光源收集系统远场均匀性不好、反射率低的问题。本发明采用内嵌式Wolter I型收集系统实现，结合Xe介质毛细管放电EUV光源特性获得13.5nm极紫外输出空间分布规律，设计反射镜共十层，实现内嵌式Wolter I型收集镜。多层反射镜依次共轴内嵌，每层反射镜由一个回转椭球面和一个回转双曲面连接而成，回转椭球面与回转双曲面具有一个公共焦点，各层反射镜的公共焦点重合，最外层反射镜最大直径为458mm，提高了系统远场均匀性和反射率。本发明适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102543630B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210026159.1
申请日：2012-02-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质及其应用系统，它涉及放电等离子体光源的介质及其应用系统。本发明要解决现有放电等离子体EUV光源采用Xe介质导致其辐射光功率过低和稳定性差以及现有放电等离子体EUV光源系统不能调控不同气体流量的问题。本发明的介质是体积流量比为(0.2～2)∶(1～20)∶(1～20)的Xe气、He气和Ar气的混合气，其应用系统由Xe气瓶、He气瓶、Ar气瓶、Xe气气体流量计、He气气体流量计、Ar气气体流量计、毛细管、电极和高压脉冲电源组成。本发明将13.5nm辐射光输出功率提高2％，同时提高了气体击穿性能和辐射光输出功率稳定性。本发明用于放电等离子体极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN102680120B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201210164154.5
申请日：2012-05-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J11/00
Abstract: 极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统，它涉及极紫外光刻光源离子状态的检测系统，本发明是为了解决极紫外光刻机在正常工作条件下进行极紫外光刻光源离子状态检测时，由于相机对光刻光源的光路的遮挡难以实现极紫外光刻光源离子状态实时检测的问题。它包括极紫外收集镜、反射镜、滤光片、光电二极管和示波器；毛细管输出端面的中心点与反射镜上端部连线与毛细管输出端的中心点与反射镜下端部连线的夹角为9~11°。此夹角范围内输出的极紫外光入射光电二极管，转变为电信号传递给示波器，示波器又将电信号转变为光信号形成的波形来动态显示极紫外光刻光源的离子状态。本发明可应用于极紫外光刻光源离子状态的动态检测技术领域。
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公开(公告)号：CN103559993A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310589661.8
申请日：2013-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 预脉冲隔离电感及利用该电感的毛细管放电软X射线激光装置，涉及一种预脉冲电源保护装置及利用该装置的X射线激光装置。本发明解决了现有毛细管放电软X射线激光装置的主脉冲电压在预脉冲电路中产生幅值较高的电流脉冲干扰信号对预脉冲电源产生破坏的问题，本发明利用线绕电感、尼龙绝缘套筒、连接套筒、不锈钢法兰、一号金属杆、环形气体放电开关、尼龙连接套筒、二号金属杆和尼龙棒获得预脉冲隔离电感；利用电感对快上升沿的阻碍作用，降低主脉冲高压对预脉冲电源的干扰，将电感串联在毛细管与预脉冲电源之间。本发明适利用毛细管放电Z箍缩效应获得软X射线激光脉冲装置。
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公开(公告)号：CN103433507A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310435460.2
申请日：2013-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，属于光学及精密加工领域。以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底。按照此方案的技术，要求加工过程中精度控制非常严格，增加了加工成本的问题。方法是：装卡收集镜筒坯1；精车加工中的粗车加工；半精车加工；精车加工；镀膜处理；手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。本发明用于加工制作极紫外光刻光源中的光学收集镜。
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公开(公告)号：CN103162848A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310100760.5
申请日：2013-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: YAG:Ce荧光屏实现毛细管放电极紫外光刻光源等离子体状态检测系统，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中等离子状态检测。本发明解决了极紫外光刻光源等离子体常规检测方法价格昂贵，使用条件苛刻的问题，提出了YAG:Ce荧光屏实现毛细管放电极紫外光刻光源等离子体状态检测系统。本发明的毛细管的中心线与聚焦系统的焦点位于同一直线上，可见光CCD图像传感器设置在聚焦系统的焦点处，毛细管发出的极紫外光入射到YAG:Ce荧光屏上，YAG:Ce荧光屏将该极紫外光转换为可见光，并入射到聚焦系统，经聚焦系统聚焦后入射到可见光CCD图像传感器的光敏面上，形成光斑，可见光CCD图像传感器将采集到的光斑通过图像输出端输入到计算机。本发明适用于极紫外光刻光源等离子体状态的检测。
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