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公开(公告)号:CN101660905B
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN200910072876.6
申请日:2009-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测装置,属于金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测技术领域。它解决了目前用于圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度检测的装置存在检测精度低、不能满足高精度的刀尖圆弧圆度的测量要求的问题。它由原子力显微镜系统、单片机控制器、测量控制计算机、二维精密位移工作台和回转轴系组成,回转轴系置于二维精密位移工作台上,测量控制计算机用于显示检测数据并输出控制信号给单片机控制器控制回转轴系的转动,回转轴系与原子力显微镜系统的扫描控头的相对位置通过二维精密位移工作台进行调节,扫描探头检测到的信号由原子力显微镜系统中的控制器传递给控制计算机进行监控。本发明用于金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测。
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公开(公告)号:CN101003357B
公开(公告)日:2011-01-19
申请号:CN200710071629.5
申请日:2007-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 基于原子力显微镜恒力模式的纳米微小结构加工方法,本发明涉及纳米量级微小结构的加工方法。它克服了现有的AFM的纳米微小结构加工方法加工深度不可控以及所能精确加工的尺寸范围非常有限的缺陷。本发明系统增加了二维微动工作台控制电路和二维微动工作台,本方法的主单片机通过AFM加工驱动电路驱动扫描陶管进行相应的伸长动作,使探针的针尖刺入被加工工件表面;扫描陶管的变化量由扫描陶管检测电路实时检测并传送给主单片机,在主单片机的控制下扫描陶管持续进行相应方向伸长动作,直到用户的加工深度设定值等于扫描陶管进给量(dZ)减去设定微悬臂的相对反弹量(dS),主单片机驱动二维微动工作台完成水平方向上的运动,直到刻划工作结束。
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公开(公告)号:CN101003357A
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:CN200710071629.5
申请日:2007-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 基于原子力显微镜恒力模式的纳米微小结构加工方法,本发明涉及纳米量级微小结构的加工方法。它克服了现有的AFM的纳米微小结构加工方法加工深度不可控以及所能精确加工的尺寸范围非常有限的缺陷。本发明系统增加了二维微动工作台控制电路和二维微动工作台,本方法的主单片机通过AFM加工驱动电路驱动扫描陶管进行相应的伸长动作,使探针的针尖刺入被加工工件表面;扫描陶管的变化量由扫描陶管检测电路实时检测并传送给主单片机,在主单片机的控制下扫描陶管持续进行相应方向伸长动作,直到用户的加工深度设定值等于扫描陶管进给量(dZ)减去设定微悬臂的相对反弹量(dS),主单片机驱动二维微动工作台完成水平方向上的运动,直到刻划工作结束。
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公开(公告)号:CN1814525A
公开(公告)日:2006-08-09
申请号:CN200510127382.5
申请日:2005-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B65G47/91
Abstract: 负压式靶丸拾取器,它涉及一种微小球体的拾取、微操纵装置,本发明的目的是为解决现有技术存在的体积大、使用不方便、灵活性较差的问题。本发明的微型真空泵1和电池盒4固定在壳体10内,手柄横梁3固定在壳体10的上侧,手柄支柱2固定在手柄横梁3和壳体10之间,开关6固定在手柄横梁3上,吸头支座7固定在壳体10和手柄横梁3的前端,转接件8固定在吸头支座7的前侧,吸附头9与转接件8螺纹密封连接,连接管5设置在壳体10内,连接管5的两端分别与微型真空泵1的进气口和转接件8的内腔相连通。本发明的有益效果是:结构小巧,独立使用,不受其它装置的限制;操作简单,灵活性好,不受空间大小的制约;可以单手操作,操作的可靠性高。
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公开(公告)号:CN119589465A
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202411771225.7
申请日:2024-12-04
Applicant: 哈尔滨普深科技有限公司 , 哈尔滨工业大学国家大学科技园发展有限公司
Abstract: 一种用于超精密加工的快换夹具重复定位精度验证方法,涉及超精密加工技术领域。选择快换夹具,根据工件的特性调整快换夹具;安装毛坯件,首工序加工铣削为球体工件;将球体工件拆下进行镀膜或涂层涂覆处理;重新安装快换夹具确保球体工件的定位一致,二次加工在球体工件上切削多个圆平面;对球体工件进行观测,根据圆平面直径计算各圆平面的法向误差;通过最小化误差的平方和来找到最佳拟合参数,通过分析各个圆平面的法向误差得到快换夹具的重复定位误差。采用对球体上带有圆平面的工件结构进行多工序加工的方式,对快换夹具的重复定位精度进行验证,有助于保证加工过程中的精度和一致性,减少人为误差。
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公开(公告)号:CN119511940A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411664238.4
申请日:2024-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 基于Power PMAC系列控制器的超精密机床EtherCAT总线型控制方法,属于超精密装备制造领域。所述方法是:将一组Triamec驱动器与超精密机床运动轴相连接;其中:每个运动轴电机动力线与相对应的Triamec驱动器的动力接口相连接,对应电机光栅的反馈线与相对应的Triamec驱动器的反馈接口相连接;通过网线依次连接Power PMAC系列控制器、Triamec驱动器和倍福IO模块;Power PMAC系列控制器包括CK3M、CK5M、CK3E和Power UMAC,使用时择一选择;将Power PMAC系列控制器、Triamec驱动器和倍福IO模块分别与电源电性连接;调试Triamec驱动器和运动轴;将Triamec驱动器的独立运行模式修改为总线模式并通过Power PMAC IDE调节控制器;通过Power PMAC IDE调试向导或编写脚本文件配置控制器、驱动器和倍福IO模块,用以实现超精密机床的高精度单轴运动或多轴联动。
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公开(公告)号:CN118106873A
公开(公告)日:2024-05-31
申请号:CN202410293563.8
申请日:2024-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高刚度五轴联动超精密加工磨削机床,涉及超精密机床技术领域。底座顶部设置直线Y轴,龙门架跨立固定在底座上方且其顶部设置直线X轴,直线Y轴和直线X轴均采用液体静压导轨并通过直线电机控制位移,直线Y轴配设Y轴光栅尺,直线X轴采用双导轨结构,旋转A轴采用两个摇篮轴固定在直线Y轴上,旋转C轴采用工件转台安装在旋转A轴之间,摇篮轴设置力矩电机进行驱动并配设圆光栅,直线Z轴固定在直线X轴上,采用气浮导轨并通过直线电机控制主轴位移,配合设置Z轴光栅条和读数头,主轴安装磨削头,卸荷气缸与主轴连接。各轴由气浮或液体静压导轨支承,X轴为双导轨结构,Z轴布置卸荷气缸并搭配光栅测量,具有高刚度、高精度的特点。
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公开(公告)号:CN115673868B
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202211105502.1
申请日:2022-09-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q17/00
Abstract: 一种五轴联动超精密加工检测试件及其检测方法,属于超精密加工技术领域。本发明通过结构设计使机床的五个轴系在加工过程中必须参与联动,该试件不仅结构形状简单,加工效率高,同时检测方便,可以对五轴联动超精密加工机床的加工精度进行评价。所述试件由从上至下一体连接的偏心球、延长锥体、转接板和安装柱四部分构成;所述安装柱通过快换夹具安装在五轴超精密机床的主轴上,所述偏心球相对于安装柱偏心设置,偏心球与延长锥体同轴设置。本发明能够对五轴联动超精密加工机床的五轴联动加工精度进行快速检测,尺寸更小,加工速度快,效率更高。
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公开(公告)号:CN114799294B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202210303365.6
申请日:2022-03-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/02 , B23Q15/013 , B23Q15/12 , B23Q17/24
Abstract: 一种复杂面形球体多工序加工用装置及其重复定位方法,涉及一种复杂面形球体加工装置及检测方法。采用自带编程并具备刀尖跟随功能的五轴联动机床,采用C‑Y‑Z‑X‑B布局,包括X轴模组、Y轴模组和Z轴模组三个直线轴以及B轴模组和C轴模组两个回转轴,三个直线轴能够在三维坐标系内调节铣刀与工件之间的相对位置,B轴模组边缘安装铣刀和光学检测装置,C轴模组安装专用夹具对所述工件进行装夹固定,两个回转轴能够调节铣刀与工件之间的相对角度。可以实现复杂面形球体多工序加工中的高精度重复定位,从而有效解决重复定位精度难以保证的问题。
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公开(公告)号:CN117518992A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311449091.2
申请日:2023-11-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/4097 , B23B25/00 , G06F30/20 , G06T17/20
Abstract: 一种复杂曲面三维模型超精密车削CAM软件的刀触点生成算法,属于超精密CAM软件算法领域,本发明是实现超精密加工表面刀触点生成的有效方法。算法引入Open CASCADE(OCC)作为几何内核,通过对几何内核的原理分析和对现有的刀触点生成算法的研究,创新的提出适用于超精密加工领域的刀触点生成算法,使得生成刀触点的坐标精度达到0.1nm,保证超精密加工的编程精度。本发明使用了IGES这类三维模型信息交换标准,使用OCC库进行解析后,将其转化为Brep格式,并在此基础上进行刀触点生成。
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