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公开(公告)号：CN103019046B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201210574176.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括微动台底座、载物台以及在二者之间呈等边三角形布置的三组相同结构的独立驱动装置；每组独立驱动均可以产生水平和垂向驱动力且具有永磁体磁浮重力补偿功能；在微动台底座和载物台中心位置处对应固装平面光栅读数头和平面光栅尺，在微动台底座边缘处布置三个或多个电容传感器，实现六自由度的解耦测量；该装置具有结构紧凑，易于加工装配、发热量小，水平驱动力大的优点，适用于光刻机工件台水平高速高加速运动的工作需求和严苛的恒温环境需求。
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公开(公告)号：CN103048891B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210574185.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括激光干涉测量系统、电容位移传感器、微动台本体及六自由度驱动电机，该电机水平和垂向驱动均采用呈三角形布置的三个驱动器解耦控制，单个水平驱动器采用在水平驱动线圈上下对称布置动子磁钢的方式，水平运动磁场均匀易于扩展水平行程，单个垂向驱动器运动磁钢仍采用上下对称布置方式，垂向运动定子采用永磁体和线圈复合形式，在提高垂向驱动力的同时具有永磁体磁浮重力补偿功能，有利于微动台保持恒温环境，该装置结构紧凑，水平驱动力大，水平行程易于扩展适用于光刻机工件台水平高速高加速运动的工作需求。
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公开(公告)号：CN103899367A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410051542.1
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种航空发动机转子堆叠装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103807228A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410052269.4
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F15B11/00
Abstract: 一种三态充气速率可控式气路结构属于储气式气动执行机构；气源经由单向阀分别与贮气罐，节流阀一端和二位三通电磁阀A的b1端口连通，所述的二位三通电磁阀A的a1端口和c1端口分别与所述节流阀另一端和二位三通电磁阀B的a2端口连通，所述的二位三通电磁阀B的b2端口和c2端口分别与排气孔和气罐连通。本结构以空气为介质，利用空气的可压缩性，实现集中供气，大大简化了机械结构的加工及维护，且可实现工作速率的智能控制，具有结构简单、制造成本低廉、作业安全可靠、使用寿命长、适合远距离传输等优点。
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公开(公告)号：CN102393613B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110378087.2
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、回转换台齿轮以及旋转连接件构成的回转换台装置，在第一工件台腰部设置第一工件台旋转环套，在侧面底部设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮；在第二工件台腰部设置第二工件台旋转环套，在侧面底部设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；回转换台装置与工件台转接装置对接后，带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换；本发明解决了现有回转换台方式工件台相位反转，线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，且转动惯量小，换台时间更短，提高了工件台的运行效率和光刻机产率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102508414B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377700.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、嵌入基台内的旋转平台以及回转换台齿轮构成的回转换台装置，在旋转平台上设置有可升降的第一轴接装置和第二轴接装置，第一工件台底部设置第一工件台旋转轴，侧面设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮，第二工件台底部设置第二工件台旋转轴，侧面设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；本发明在双台切换过程中，工件台朝向始终不变，解决了现有回转换台方案的线缆不便安装和干涉仪丢失目标的问题，同时本发明具体实施过程中具有转动惯量小，相同换台时间下所需转矩小等优点。
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公开(公告)号：CN102878938A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210385258.9
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于衍射光栅的光学读数头属于微纳米测量技术，包括激光器、隔离器、偏振分光棱镜、反射镜、1/4波片、衍射光栅、光阑、四象限光电二极管传感器，其激光器发出线偏振激光光束经隔离器由偏振分光棱镜分为P偏振光和S偏振光，由反射镜分别将两路光反射到光栅表面进行两次衍射后，按原路返回至分光棱镜出射，经1/4波片被四象限光电二极管传感器接收，经放大转化电路处理后得到四路相差90°的正弦信号用于后续处理，得到被测物的位移信息；本读数头结构简单，调整方便，光路系统易于复现，利于系统的集成化和小型化，提高了系统的分辨力和稳定性。
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公开(公告)号：CN102508414A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110377700.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、嵌入基台内的旋转平台以及回转换台齿轮构成的回转换台装置，在旋转平台上设置有可升降的第一轴接装置和第二轴接装置，第一工件台底部设置第一工件台旋转轴，侧面设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮，第二工件台底部设置第二工件台旋转轴，侧面设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；本发明在双台切换过程中，工件台朝向始终不变，解决了现有回转换台方案的线缆不便安装和干涉仪丢失目标的问题，同时本发明具体实施过程中具有转动惯量小，相同换台时间下所需转矩小等优点。
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公开(公告)号：CN105425550A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610023016.3
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于交错磁钢排布的动线圈气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，工件台采用气悬浮和平面电机驱动，宏动平面电机定子采用交错磁钢排布，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN102495531B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110377988.X
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由回转换台电机定子、回转换台电机动子以及旋转连接件构成的回转换台装置，工件台均设置有自旋装置，该自旋装置包括自旋电机定子、自旋电机动子、自旋电机动子转接件，回转换台装置与自旋电机动子转接件对接带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换；本装置解决了现有回转换台存在的工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，具有转动惯量小、在相同转矩条件下换台时间短、工件台的运行效率高和光刻机产率高的特点。
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