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公开(公告)号：CN116560305B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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公开(公告)号：CN116560305A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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公开(公告)号：CN114625008A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210266457.1
申请日：2022-03-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种自整定非线性迭代学习控制方法，属于超精密运动控制领域。所述方法的主要特征在于在已有鲁棒逆模型迭代学习控制方法的学习增益中额外添加一个自整定非线性学习系数。本发明相对于现有技术的有益效果为：对比鲁棒逆模型迭代学习控制方法，本发明公开方法能够更好地抑制非重复性误差的累积；对比卡尔曼滤波迭代学习控制方法，本发明公开方法中的非线性学习系数与误差相关，提升了学习效率；另外，对比传统非线性迭代学习方法，本发明公开方法采用自整定方法确定噪声‑不确定性的联合定界，避免了定界过高或过低引起的控制性能下降的问题。
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公开(公告)号：CN113555197B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202110863862.7
申请日：2021-07-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种动磁钢式自驱动磁浮导轨装置及其控制方法，属于高端装备技术领域。四个导套支撑框架组合构成方形套，四个导套支撑框架的中部分别封装有I型电磁铁，永磁体封装在位于上方的导套支撑框架内；导轴支撑框架为长方体框架，导轴支撑框架的四个侧面沿长度方向均封装有多个E形组件；封装于导轴支撑框架上下两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架左右两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架的四个侧面的多个E形组件与封装于四个导套支撑框架中部的I型电磁铁分别相对设置，线圈绕组封装在导轴支撑框架上侧并位于E型组件的一侧，线圈绕组与永磁体相对设置。本发明用于超精密系统中。
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公开(公告)号：CN112363764B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202011364722.7
申请日：2020-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种跨平台通讯的精密运动台控制方法，所述方法包括如下步骤：一、上位机通过网线向下位机下发控制指令；二、下位机对接收到的数据进行CRC校验，生成CRC校验码；三、下位机将生成的校验码与接收到的控制指令中的校验码进行比较，向上位机发送反馈信息；四、下位机对接收到的控制指令进行解析，并对接收到的value值进行大小端转换；五、下位机将经过大小端转换的value值通过VME总线发送给运动控制卡，运动控制卡经过运算将运算结果通过光纤发给运动台。本发明采用Windows+VxWorks跨平台通讯的方式实现精密运动台控制指令的传输，实时性较高、人机交互性较好、通讯协议灵活、扩展性较好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112363764A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011364722.7
申请日：2020-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种跨平台通讯的精密运动台控制方法，所述方法包括如下步骤：一、上位机通过网线向下位机下发控制指令；二、下位机对接收到的数据进行CRC校验，生成CRC校验码；三、下位机将生成的校验码与接收到的控制指令中的校验码进行比较，向上位机发送反馈信息；四、下位机对接收到的控制指令进行解析，并对接收到的value值进行大小端转换；五、下位机将经过大小端转换的value值通过VME总线发送给运动控制卡，运动控制卡经过运算将运算结果通过光纤发给运动台。本发明采用Windows+VxWorks跨平台通讯的方式实现精密运动台控制指令的传输，实时性较高、人机交互性较好、通讯协议灵活、扩展性较好。
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公开(公告)号：CN105068386B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510561426.9
申请日：2015-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。
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公开(公告)号：CN117519310A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311646677.8
申请日：2023-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/20
Abstract: 一种超精密运动台垂向静态解耦与前馈联合迭代校正方法，属于超精密运动控制领域。该方法可通过一次校正过程同时完成静态控制解耦矩阵与前馈控制器的校正，简化了多自由度运动台控制系统的校正过程，提升了控制系统校正的效率，具有重要的工程应用价值。与先对静态控制解耦矩阵进行校正，再对前馈控制器进行校正的两步法相比，本发明公开的超精密运动台垂向三自由度静态解耦与前馈联合迭代校正方法可以通过一次校正过程同时完成解耦与前馈的校正，提升了超精密运动控制系统校正的效率。
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公开(公告)号：CN116909210A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310860403.2
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线；参考S曲线经柔性系统获得系统输出，柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下：确定参考S曲线的阶次；设计含参S型运动轨迹并获得轨迹含参零点；确定S型运动轨迹的参数；判定参数是否合理；判定残余振荡是否满足要求，确定运动轨迹设计标准。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划参数设计仅着眼于运动轨迹的几何光顺忽略了被控对象的柔性特性的问题，且不需要添加额外的减震装置，减少了整体重量，降低了经济成本。
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公开(公告)号：CN116700150A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310860402.8
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 精密运动平台点位运动鲁棒轨迹规划系统及其规划方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线；参考S曲线经柔性系统获得系统输出，柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下：设计对称S型运动轨迹，设计S型运动轨迹参数；修整轨迹增强运动轨迹对模型摄动鲁棒性；判定S型运动轨迹设计是否合理；将获得的非对称S曲线输入柔性系统，获得系统输出；按照系统需求判定残余振荡是否满足要求。本发明解决了传统精密运动平台点位运动轨迹规划方法仅关注运动轨迹的几何光顺未考虑被控对象柔性特性的问题，同时解决了传统点位运动轨迹规划方法加减速对称规划增加运动耗时的问题。
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