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公开(公告)号:CN103341788B
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201310268014.7
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法,涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面,将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准,采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理,实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量,由于采用两通道同时测量,同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号:CN103344425B
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201310268146.X
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法,涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下:在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准,采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理,从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量,不影响超精密机床的加工过程。
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公开(公告)号:CN103331829A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201310282108.X
申请日:2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于KDP晶体超精密飞切加工机床的机械式微进给刀架,本发明涉及一种机械式微进给刀架,本发明为解决现有KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给装置进给分辨率不足,不能精确调节进给量而影响加工精度,以及其它机械式微量进给装置亦不适用于KDP晶体超精密飞切加工机床的问题。本发明粗调部分和精调部分串联设置,粗调采用丝杆螺母机构,精调采用微分头驱动斜面机构。进给轴小端由精密外螺纹同粗调螺母配装,主动楔和从动楔分别设置于大端通槽和盲孔内,主动楔由微分头和回复弹簧在两端将其压紧;从动楔和夹刀块固接,支承弹簧套装在其外一同置于大端盲孔内由端盖压紧。本发明用于实现KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给。
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公开(公告)号:CN101870002B
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN201010221284.9
申请日:2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法,它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题,本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ,然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角,再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体,以实现飞刀盘偏转角度,最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工,再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ,当平面度误差Δ满足聚变系统要求时,完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号:CN101870002A
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN201010221284.9
申请日:2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法,它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题,本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ,然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角,再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体,以实现飞刀盘偏转角度,最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工,再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ,当平面度误差Δ满足聚变系统要求时,完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号:CN101474831A
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200910071321.X
申请日:2009-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 可调节式金刚石刀具的刀夹装置,它涉及一种刀夹装置。本发明解决了现有的金刚石刀具的刀夹装置存在加工时无法对刀具角度进行调整、需要经常更换不同的刀具、增加了成本、工作效率低的问题。所述转位导向套的外沿上对称开有两个弧形通孔,所述转位导向套通过导向键安装在微调丝杠轴的上端,所述丝杠内套套装在微调丝杠轴的中部且丝杠内套与微调丝杠轴螺纹连接,所述微调手轮固装在丝杠内套上,所述两个螺钉依次穿过端盖、转位导向套上的弧形通孔与圆筒连接,所述摆动支撑轴设置在微调丝杠轴与刀夹座之间,所述微调丝杠轴与刀夹座通过四个转位调整螺钉连接。本发明具有结构紧凑、调节方便、调整精度高,适用于各种精密及超精密的加工机床。
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公开(公告)号:CN101434055A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200810209767.X
申请日:2008-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 纳米胶体射流抛光装置,它涉及一种射流抛光装置。本发明解决了现有的纳米胶体射流抛光过程中存在的纳米胶体易被污染、纳米胶体的喷射能量难以控制、自由基-羟基与工件表面原子的化学吸附难以实现、胶体中纳米颗粒与工件表面原子发生的可逆聚合分解反应难以保证和工件表面的纳米颗粒及工件表面原子无法利用流体黏附作用移除的问题。本发明的第一柔性密封囊安装在第一高压容器内,第四管路的下端与第一柔性密封囊的上端连通,第四管路的上端与第一两位三通控制阀连通,封闭的纳米胶体容器与第一两位三通控制阀连通,蠕动泵安装在第五管路上。本发明实现了压力油与纳米胶体的独立循环,喷射能量得到控制,移除了工件表面的纳米颗粒及工件表面原子。
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公开(公告)号:CN111044242B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201911396097.1
申请日:2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M5/00
Abstract: 一种超精密飞切机床主轴与导轨刚度检测装置及检测方法,属于机床性能检测技术领域。本发明解决了现有技术无法实现超精密静压主轴与导轨刚度准确检测的问题。所述第一基准板上由下到上依次固设有力传感器、气缸及定心支杆,支撑板的底端开设有定心孔,所述定心孔与主轴同轴布置,且定心支杆的顶端与所述定心孔配合,第一基准板上方布置有若干导轨位移传感器,第二基准板上方布置有若干主轴位移传感器,且若干所述导轨位移传感器及若干主轴位移传感器分别绕主轴轴线均布,若干主轴位移传感器分别通过导线连接主轴位移信号采集器,若干导轨位移传感器分别通过导线连接导轨位移信号采集器,力传感器通过导线连接力信号采集器。
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公开(公告)号:CN111805319B
公开(公告)日:2021-08-13
申请号:CN202010628564.5
申请日:2020-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 硬脆单晶微细圆柱外圆超声辅助磨床的全自动上料装置,它涉及机械设备领域。本发明解决了现有磨床在外圆磨削加工时存在自动化程度及批量生产的工作效率较低,且对于工件尺寸较小的YAG单晶微细圆柱外圆磨削时,存在准确定位装夹困难,容易导致加工工件破碎,难以获得这类硬脆材料较好的表面完整性的问题。本发明的料斗装置设置在振料盘的上方,料斗装置的出料口正对振料盘,振料盘安装在振料盘支架上,振料盘的出口与工件分离机构相连,第一光电传感器固定安装在工件分离机构左侧,上料机构设置在工件分离机构的右上方,超声椭圆振动辅助磨削装置设置在工件分离机构的正前方。本发明用于硬脆单晶微细圆柱外圆磨削的自动传动和自动装夹。
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公开(公告)号:CN109341889B
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN201811340196.3
申请日:2018-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的环抛加工中光学元件内部温度的测量方法涉及一种光学元件的温度测量方法,目的是为了克服环抛加工过程中光学元件内部温度分布无法准确获得的问题,具体步骤如下,步骤一、预先设置温度采集孔;步骤二、开启环形抛光机床并测量温度。本发明针对环抛加工中难以测量加工面温度的难题,根据玻璃元件内部温度单一方向均匀分布的特点,得到完整的矩形玻璃元件内部温度分布数据;通过本发明方法获得玻璃元件尤其时矩形玻璃元件的内部温度分布,进而可以推测加工时玻璃元件受热的形状变化过程,从而可以对环抛工艺参数加以调整来实现矩形玻璃元件的确定性控制。
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