一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法

    公开(公告)号:CN109980989A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201910280940.3

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了目前的微细物体操作器结构复杂、行程不足和自由度单一的技术问题。所述微细物体操作器由末端卡爪、驱动足、压电陶瓷管以及基座组成,其中压电陶瓷管为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和伸缩变形,进而通过驱动足驱动末端卡爪的运动。本发明中的操作器可以通过多种激励方法产生末端卡爪沿自身轴线和绕自身轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合,压电陶瓷管和驱动足的数量可以做出变化。本发明中的微细物体操作器结构紧凑、布置灵活,激励方法灵活多样、可靠性高,便于应用在需要进行微细物体操作的技术领域。

    一种三自由度压电驱动微纳操控机械臂及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889086A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910280459.4

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种三自由度压电驱动微纳操控机械臂及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了现有微纳操控装置自由度单一、结构复杂、行程受限的技术问题。所述微纳操作机械臂由动子、旋转驱动单元、升降驱动单元以及基座组成,其中旋转驱动单元和升降驱动单元为主要驱动元件,分别驱动动子两个自由度的旋转运动和一个自由度的直线运动。基于本发明中的激励方法,所述微纳操作机械臂可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的微纳操作机械臂驱动原理简单可靠,激励方法适应性强,便于应用在微纳操作等技术领域。

    一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法

    公开(公告)号:CN109842321A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201910280460.7

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了目前三自由度直线定位平台结构复杂、精度不足、行程过小以及激励方法单一的技术问题。所述压电定位平台由运动平台、驱动单元、侧向压板、竖向导轨以及基座组成,其中驱动单元为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和伸缩变形,进而通过驱动足驱动运动平台沿空间中三个正交方向的直线运动。基于本发明中的激励方法,所述压电定位平台可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的压电定位平台结构紧凑,激励方法简单易行,便于应用在需要精密定位操作的技术领域。

    采用剪切工作模式的扭转型精密压电驱动器及其制作方法

    公开(公告)号:CN108494286A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810394727.0

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 本发明提出了一种采用剪切工作模式的扭转型精密压电驱动器及其制作方法,属于压电驱动领域。解决了现有旋转型精密压电驱动器结构复杂、成本较高和制作繁琐等问题。驱动器为圆柱形或圆环形,由压电陶瓷和通电电极片组成,所述压电陶瓷的极化方向可分为沿驱动器轴向和径向极化两种,每种情况中压电陶瓷又可分为正向极化和负向极化压电陶瓷组。通电电极片施加激励电压后,压电陶瓷产生剪切变形,通过结构设计和适当连接可以输出精准的角位移。驱动器的制作工艺流程包括压电陶瓷和通电电极片的制作以及驱动器的装配,工艺流程可以根据应用场合、加工条件和性能指标等灵活调整,便于批量生产。

    一种三自由度压电驱动微纳操控机械臂及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889086B

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201910280459.4

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种三自由度压电驱动微纳操控机械臂及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了现有微纳操控装置自由度单一、结构复杂、行程受限的技术问题。所述微纳操作机械臂由动子、旋转驱动单元、升降驱动单元以及基座组成,其中旋转驱动单元和升降驱动单元为主要驱动元件,分别驱动动子两个自由度的旋转运动和一个自由度的直线运动。基于本发明中的激励方法,所述微纳操作机械臂可以实现大尺度的精密运动。本发明中的微纳操作机械臂驱动原理简单可靠,激励方法适应性强,便于应用在微纳操作等技术领域。

    压电驱动的超精密四自由度定位调姿机构及其激励方法

    公开(公告)号:CN109951101A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910280424.0

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明是压电驱动的超精密四自由度定位调姿机构及其激励方法。本发明解决了现有压电定位调姿机构结构单一、尺寸庞大以及驱动元件成本较高的技术问题。所述定位调姿机构由动子(1)、上侧驱动足(2)、压电陶瓷管(3)、固定夹块(4)、横向导轨(5)、纵向导轨(6)、下侧驱动足(7)和基座(8)组成,其中压电陶瓷管(3)为主要驱动元件,用以产生弯曲变形进而驱动动子(1)的两自由度直线运动和两自由度旋转运动。基于本发明中的激励方法,所述定位调姿机构可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的定位调姿机构结构简单紧凑,激励方法简易可行,便于应用在需要对操作对象进行精密定位和调姿的技术领域。

    超精密四自由度压电载物台及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889087A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910280899.X

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明是超精密四自由度压电载物台及其激励方法。本发明解决了目前超精密载物台自由度单一、行程不足和结构尺寸不够紧凑的技术问题。所述压电载物台包括运动平台(1)、多个驱动单元(2)、固定夹块(3)、纵向导轨(4)、横向导轨(5)以及基座(6),其中驱动单元(2)为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和伸缩变形,带动驱动足驱动运动平台(1)沿空间三个正交方向的直线运动以及绕其轴线的旋转运动。基于本发明中的激励方法,所述压电载物台可以实现大尺度的超精密运动。本发明适用于不同的工作条件和应用需求,具有良好的可扩展性,增加驱动单元(2)的个数可以显著增大压电载物台的负载能力。

    压电驱动的超精密进给调姿装置及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889084A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910280438.2

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明是超精密五自由度压电运动平台及其激励方法。本发明解决了已有的多数超精密调姿机构难以实现进给运动以及结构繁琐、负载能力较差的技术问题。本发明的进给调姿装置由动子(1)、驱动单元(2)、螺母(3)、丝杠(4)以及基座(5)组成其中驱动单元(2)为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和扭转变形并通过驱动足或丝杠螺母驱动动子的三自由度旋转运动和单自由度直线运动。基于本发明中的激励方法,所述进给调姿装置可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的进给调姿装置结构紧凑、负载能力强,激励方法简单可靠,适合应用于需要对操作对象进行精密调姿和进给的技术领域。

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