一种含有振镜的高保偏正交反射镜组角度公差分配方法

    公开(公告)号:CN112099227B

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202010972914.X

    申请日:2020-09-16

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种含有振镜的高保偏正交反射镜组角度公差分配方法,涉及光学仪器领域,解决现有偏振探测系统在装调过程中,存在安装误差或相对位置偏移,当振镜出现摆的情况下,使反射镜组出现不是正交状态,进而导致入射圆偏振光在传输过程中改变为椭圆偏振光,改变入射信号光的偏振特性,影响系统的探测或通信性能等问题,本发明建立了正交反射镜组的偏振光线几何模型,采用三维偏振光线追迹算法来分析圆偏振信号光在传输过程中偏振态的变化,推导了正交反射镜组关于安装误差角和侧摆角的偏振态传输矩阵,完成了出射光偏振态的计算仿真,建立了正交反射镜组安装公差分配与振镜工作振幅确定方法。本发明提高了设计与装调方案的可行性。

    一种全息光栅扫描光刻曝光量监测装置及调整方法

    公开(公告)号:CN111708258B

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202010640570.2

    申请日:2020-07-06

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种全息光栅扫描光刻曝光量监测装置及调整方法,涉及全息光栅制作领域。解决现有全息光栅扫描光刻曝光量工艺参数控制性差,光栅制作效率低,且采用静态监测方法,无法满足使用要求等问题,监测光源发出的监测激光用于曝光量监测,电控光闸控制监控激光入射到潜像光栅上,形成监测光斑;监控激光经由潜像光栅产生一级潜像衍射光,一级潜像衍射光经过滤光片,进入光电探测器;位移速度测量系统获取工作台Y向位移及速度,作为对曝光量进行控制的参数;控制器控制电控光闸的打开和关闭,控制同一触发信号同步采集位移速度测量系统和光电探测器的输出数据。本发明可实现全息光栅扫描光刻过程中曝光量的有效监测,保证曝光量工艺参数可控性。

    基于近轴像差理论的多光路光学系统初始结构搜索方法

    公开(公告)号:CN111679428B

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN202010596688.X

    申请日:2020-06-28

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 基于近轴像差理论的多光路光学系统初始结构搜索方法,涉及光学仪器领域。解决现有多光路复合光学系统在设计与优化过程中,选取的初始结构对后续优化结果影响较大,且现有方法只能对单个系统的初始结构计算,无法实现多个光路的焦距分配与像差校正等问题,本发明利用主反射镜、薄透镜和平行平板的相关像差理论,完成了折反光路和两反光路的近轴像差公式的推导。建立了由光学系统结构布局约束条件、光焦度分配、近轴像差组成的多光路复合光学系统目标函数,并求解目标函数最优解的问题。实现初始结构的快速搜索。本发明的搜索方法具有良好的轴上像差校正特性,光机结构参数合理紧凑,适合多光路多焦距复合光学系统初始结构的建立和光学优化。

    一种双目视觉探测系统结构优化方法

    公开(公告)号:CN110598834A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910886407.1

    申请日:2019-09-19

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种双目视觉探测系统结构优化方法,包括以下步骤:建立双目探测系统性能分析模型;分析系统结构对测量精度的影响;指标参数影响分析;结构参数优化;仿真分析,建立双目系统精度分析结构模型,得到了双目结构的结构参数与系统指标参数的关系,而后分别对双目系统指标参数单变量数值分析,确定了各结构参数对指标参数的影响,最后在符合实际工业要求且保证有效视场与分辨率情况下通过设置优化目标函数,应用改进粒子群优化算法,得到了双目结构参量的最优解,通过这一方法,解决了原始的由人工经验设计的双目系统结构所造成的结构不确定性,使得双目系统结构的设计有据可依,提高了双目探测系统的测量精度。

    一种基于微反射镜阵列的激光通信系统的光轴配准装置

    公开(公告)号:CN211402961U

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN202020384181.3

    申请日:2020-03-24

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于微反射镜阵列的激光通信系统的光轴配准装置,涉及激光通信系统的光轴配准装置技术领域,所述激光通信系统包括激光发射通道和激光接收通道;所述光轴配准装置包括水平光管和微反射镜阵列,所述微反射镜阵列可设置在所述水平光管的焦面位置处,当所述微反射镜阵列设置在所述水平光管的焦面位置处,且所述激光发射通道发出的光通过水平光管中的主镜和次镜照射到所述微反射镜阵列上时,所述微反射镜阵列用于通过角度旋转对其反射光的角度进行调节,以对所述激光通信系统的光轴进行配准。采用本实用新型的光轴配准装置操作简便,可以大幅提高装调精度,缩短装调时间,提高装调效率。

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