基于光栅衍射的加速度传感器

    公开(公告)号:CN208188150U

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201820467750.3

    申请日:2018-03-30

    Abstract: 本实用新型公开了基于光栅衍射的加速度传感器,该加速度传感器由所述加速度传感器的结构主要由衍射光源、砷化镓太阳能电池阵以及外围电路多通道ADC组成;其中,衍射光源由长波光源、遮光板、光栅和透镜组成,采用光源外壳将其集装在一起,其中长波光源的四周采用弹簧将其固定在光源外壳内部;当传感器运动时,由于惯性长波光源随之运动,衍射在太阳能电池阵列上的条纹随之移动。根据光伏效应,产生相应变化的光电流。通过ADC外围电路进行检测可以得传感器的运动情况。此加速度传感器具有精度高、灵敏度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器

    公开(公告)号:CN208043929U

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201820608969.0

    申请日:2018-04-26

    Abstract: 本实用新型是一种基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器,传感器包括高阻硅衬底,衬底上设置有共面波导传输线和压电悬臂梁,共面波导传输线包括中心信号线和地线,地线设置在中心信号线的两侧,压电悬臂梁通过桥墩固定在中心信号线和一侧的地线之间,压电悬臂梁的一端加载质量块,在压电悬臂梁上、未加载质量块的上方附着介质层,在介质层的上方设置有压电材料层,在压电材料层的顶端设置叉指电极。器件工作时悬臂梁受到静电力下拉,根据压电效应,压电悬臂梁上方的叉指电极将之间将产生电压,该电压与微波功率一一对应,因此通过测量电压即可得到微波信号的功率。本实用新型易于集成且被测参数以电信号形式直接输出,后级检测电路简单。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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