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公开(公告)号:CN111381339B
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202010040988.X
申请日:2020-01-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于超表面透镜与传统透镜组安装的减震镜头,包括超表面透镜固定环、镜筒主体和镜筒外壁,超表面透镜固定环用于固定超表面透镜并进行第一级减震,镜筒主体提供传统透镜组安装空间并进行第二级减震,镜筒外壁用于限定超表面透镜固定环位置,保证构成镜筒主体的两个镜筒内壁接合的稳定性。本发明提供的减震镜头使用超表面透镜固定环及缓冲部对超表面透镜进行二级减震,避免了单一减震方式减震能力不足、难以同时保护超表面透镜衬底与微观结构的问题。并实现了对超表面透镜和传统透镜组的联合安装。
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公开(公告)号:CN117741839A
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202311456490.1
申请日:2023-11-03
Abstract: 本发明属于超透镜仿真设计领域,涉及一种多台阶结构与纳米结构混合集成的超透镜及其设计方法、加工方法。所述混合集成超透镜包括:多台阶结构和纳米结构;其中多台阶结构包括:多个对入射光线的相位进行改变的相位设计阶梯,多个相位设计阶梯中相邻的相位设计阶梯之间的高度不同;相位设计阶梯的高度与混合集成超透镜实现的功能相关;纳米结构设置在与多台阶结构同一基底的另一面上。本发明中混合集成超透镜的多台阶结构和纳米结构设置在同一基底的两个不同的面上,两个面的加工工艺可以分开进行互不影响。本发明设置在平面上的纳米结构刻蚀深度更均匀,精度更高,同时有更高的排布自由度,相位调控能力更强。
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公开(公告)号:CN117629926A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311518224.7
申请日:2023-11-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种适用于多组分气体传感的高灵敏光子鼻系统,包括红外光源、窄带红外探测器阵列和信号处理与运算模块,根据不同气体的红外吸收谱特征,采用集成超材料红外吸收体的高灵敏光子型探测器芯片形成窄带红外探测器阵列,利用光子鼻系统响应生成探测目标气体的特征吸收谱;结合信号处理与算法技术,构建气体种类与浓度分析数学模型,实现对多组分气体的智能识别与浓度预测。本发明提供的高灵敏光子鼻系统可搭载运算、成像、存储、无线通信和数字显示模块,形成感存算显传一体化的智能气体传感器,并可适配多种红外光源,结合光路设计满足不同场景的气体传感需求。
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公开(公告)号:CN111115565B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN201911354191.0
申请日:2019-12-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01J5/20 , G01N21/3504
Abstract: 本发明属于红外光源领域,具体公开了一种MEMS红外光源的制备方法及其应用,制备方法包括:在单晶硅片的一面上制备能透红外光的支撑层;在单晶硅片的另一面上采用MEMS工艺刻蚀并将该单晶硅片的中间区域刻穿,形成掏空结构;在支撑层上进行图案溅射,得到红外热辐射体,并在红外热辐射体表面沉积能透红外光且绝热的隔离层,以及在隔离层上沉积反射层,得到背发射式结构的硅基MEMS红外光源。本发明在单晶硅片的一面设置支撑层后,在另一面进行MEMS工艺刻蚀,形成边缘为硅基且中间区域刻穿的掏空结构,同时在支撑层依次设置红外热辐射体、隔离层和反射层。本发明制备得到背发射式的红外光源,红外发射效率高,在应用是能够有效降低集成难度、集成成本。
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公开(公告)号:CN115657303A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202211218465.5
申请日:2022-10-06
Applicant: 华中科技大学 , 杭州海康威视数字技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种双级联超构透镜的设计方法及长波红外超构透镜成像系统,属于透镜与微纳光子学领域,方法包括:利用严格耦合波分析法,计算不同半径的柱状结构单元在长波红外特征波长入射时引入的相位突变、以及在长波红外的色散分布,得到多组半径‑相位突变‑色散分布,以组成柱状结构单元库;以令双级联超构透镜可对入射光线进行波前调控以及校正入射光线的高级像差为目标,确定超表面六方晶格周期阵列的目标相位分布;根据目标相位分布,以同一超表面中各六方晶格的色散分布一致性最高为目标,从选取的结果中确定每一六方晶格处柱状结构单元的半径。采用特殊的色散设计方式,使超构光学元件用于红外大口径成像应用领域。
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公开(公告)号:CN113155286B
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202110386548.4
申请日:2021-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统,适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理,将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成,缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构,减少温度变化导致的热变形对干涉的影响,并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪,取消了定镜的使用,对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉,放大光束之间的光程差,从而提高光谱分辨率,降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。
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公开(公告)号:CN112859206B
公开(公告)日:2022-02-15
申请号:CN202110100783.0
申请日:2021-01-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种将高斯光整形成平顶光的全介质超透镜及其制备方法,属于激光光束整形领域,全介质超透镜包括:介质衬底层和超表面结构;超表面结构位于介质衬底层一侧表面上,包括多个超表面柱状结构单元,多个超表面柱状结构单元按照四方晶格周期阵列的方式排列,各超表面柱状结构单元的高度相同。基于高斯光、目标平顶光电场强度振幅分布、全介质超透镜输入面和输出面的电场强度分布对超透镜相位进行优化设计,根据优化设计后的相位设计并制备超透镜。超表面结构大大减小光束整形器件的体积,器件厚度可减小至百微米量级,无需增加其他元件,简化光束整形装置,降低装配精度要求,该超透镜具有相位调控精度高的优势,能够实现连续的相位调控。
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公开(公告)号:CN110488394B
公开(公告)日:2021-01-19
申请号:CN201910792371.0
申请日:2019-08-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种长波红外复合光学系统,包括:双级联超表面元件包括:第一超表面、第二超表面以及介质衬底层;所述第一超表面和第二超表面分别设置于介质衬底层的前表面和后表面;双级联超表面元件用于对入射光的波前进行调控,实现对入射光的高级像差进行校正后出射,入射光的波长在长波红外波段;透镜组置于双级联超表面元件出射光的一侧透镜组用于对入射光的初级像差进行校正并对光线进行聚焦后出射;红外焦平面探测器包含沿光轴依次设置的探测器窗口和红外焦平面阵列,探测器窗口用于滤除系统的杂散光及探测波段外的光线,红外焦平面阵列用于对聚焦后的红外光线入射光实现探测成像。本发明精简了光学系统的结构,优化了加工工艺。
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公开(公告)号:CN111381339A
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN202010040988.X
申请日:2020-01-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B7/02
Abstract: 本发明公开了一种适用于超表面透镜与传统透镜组安装的减震镜头,包括超表面透镜固定环、镜筒主体和镜筒外壁,超表面透镜固定环用于固定超表面透镜并进行第一级减震,镜筒主体提供传统透镜组安装空间并进行第二级减震,镜筒外壁用于限定超表面透镜固定环位置,保证构成镜筒主体的两个镜筒内壁接合的稳定性。本发明提供的减震镜头使用超表面透镜固定环及缓冲部对超表面透镜进行二级减震,避免了单一减震方式减震能力不足、难以同时保护超表面透镜衬底与微观结构的问题。并实现了对超表面透镜和传统透镜组的联合安装。
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公开(公告)号:CN110797419A
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201911035464.5
申请日:2019-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于偏振相关窄带探测器领域,具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层;其中所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成,所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属,所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。叉指电极结构阵列上产生的局域表面等离激元共振效应与谐振腔的共同作用使得特定波长光能量逐渐被转化吸收殆尽,由探测材料胶体量子点转化为电信号,提高该偏振相关窄带探测器对光的吸收率。
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