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公开(公告)号：CN109883343B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910319601.1
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/14
Abstract: 本发明公开的双边错位差动共焦镜组轴向间隙测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾里斑图像上设置大、小虚拟针孔探测区域，并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行双边错位差动相减处理得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该双边错位差动共焦特性曲线零点与共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测镜组内外顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿计算精确得到被测镜组轴向间隙。与已有的镜组间隙测量方法相比，本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强、结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109883340B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910316789.4
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开的横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测透镜中心厚度测量顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿精确得到透镜的中心厚度，实现透镜中心厚度的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN108362221B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201810054769.X
申请日：2018-01-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学精密检测技术领域，涉及一种自由曲面零件的纳米精度轮廓测量装置与方法，可用于自由曲面零件的纳米精度检测。该装置包括：主动气浮隔震弹簧、气浮隔振基座、X向气浮导轨、龙门架、激光差动共焦定焦触发测量系统、激光干涉位移测量镜组、Y向气浮导轨、Z向气浮导轨、自由曲面样品姿态调整装置、参考平晶姿态调整装置、激光干涉仪；采用龙门结构三坐标测量机的轮廓测量方式，结合高精度平面平晶作为基准反射镜，减少X向和Y向气浮导轨直线度对自由曲面表面轮廓高精度检测的影响，从而降低三坐标测量机的21项误差。采用具有三点支撑结构的球面气浮工作台调整被测自由曲面零件的姿态，实现自由曲面零件轮廓的高精度检测。
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公开(公告)号：CN109029291B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201810933104.6
申请日：2018-08-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，属于非球面测量领域。本发明实现方法为，获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与消球差透镜组；根据部分补偿透镜和消球差透镜组建立结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统；利用所述系统获得最佳补偿位置变化；测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化四次分量的系数；根据联立的方程组，计算非球面的面型参数误差，即实现对非球面的面型参数误差的测量。本发明能够提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描装置、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN110068290A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910318396.7
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开的双边错位差动共焦超大曲率半径测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，然后将锐化共焦特性曲线进行双边错位差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，其次利用该双边错位差动共焦特性曲线零点与共焦测量系统焦点精确对应所述特性对超大曲率半径测量中各特征位置点进行高精度定焦寻位，进而实现超长焦距的高精度测量。与已有的大曲率半径测量方法相比，本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110030941A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910176383.0
申请日：2019-03-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B11/06 , G01B11/255 , G01B11/00
Abstract: 本发明公开的激光共焦干涉核聚变靶丸形貌轮廓参数测量方法与装置，属于共焦显微成像、激光惯性约束核聚变及干涉测量技术领域。本发明将激光共焦技术与短相干干涉测量技术结合，利用激光共焦技术对激光聚变靶丸壳层的内、外表面进行精密层析定焦，利用短相干干涉技术对靶丸外表面进行干涉测量，并进一步通过正交回转驱动技术对靶丸进行三维回转驱动获得靶丸的内/外表面三维轮廓、外表面形貌和壳层厚度分布等参数，实现核聚变靶丸形貌轮廓参数综合测量。本发明能够为激光惯性约束核聚变仿真实验研究、靶丸制备工艺研究和靶丸筛选提供数据基础和检测手段。本发明在激光惯性约束核聚变、高能物理和精密检测领域有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109991190A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910317051.X
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开的横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明公开的横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，在共焦测量系统中，在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测透镜折射率测量时各顶点位置进行高精度定焦寻位，通过光线追迹补偿精确得到透镜的折射率，实现透镜折射率的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109990984A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910318568.0
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开的横向相减差动共焦超长焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾里斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应所述特性对被测超长焦距测量时各顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿计算来精确得到超长焦距，实现超长焦距的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109990983A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910318159.0
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开的双边错位差动共焦超长焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，然后将锐化共焦特性曲线进行双边错位差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，其次利用该双边错位差动共焦特性曲线零点与共焦测量系统焦点精确对应所述特性对超长焦距测量中移动测量平面镜各位置点进行高精度定焦寻位，进而实现超长焦距的高精度测量。与已有的超长焦距测量方法相比，本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109990839A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910320395.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开的双边错位差动共焦聚变靶丸形态性能参数测量方法，属于共焦显微成像、光谱探测及激光惯性约束核聚变技术领域。本发明将激光共焦技术与拉曼光谱探测技术结合，利用激光共焦技术对激光聚变靶丸的内、外表面进行精密层析定焦，利用拉曼光谱探测技术对靶丸壳层和界面进行光谱激发探测，并进一步通过正交回转驱动技术对靶丸进行三维回转驱动获得靶丸的内/外表面三维形态参数和壳层/界面性能分布参数等，实现核聚变靶丸形态性能参数综合测量。本发明可为激光惯性约束核聚变仿真实验研究、靶丸制备工艺研究和靶丸筛选提供数据基础和检测手段。本发明在激光惯性约束核聚变、高能物理和精密检测领域有广泛的应用前景。
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