一种超快激光单次制备多个微型电容集成化的方法

    公开(公告)号:CN114289879B

    公开(公告)日:2023-02-17

    申请号:CN202210035046.1

    申请日:2022-01-13

    Abstract: 本发明涉及一种超快激光单次制备多个微型电容集成化的方法,属于微纳米制造领域。本发明的目的是解决现有技术加工效率低下,不灵活且精度与性能不稳定的缺点。本发明通过超快激光对二维材料进行局部选区电子动态调控,进而产生去除和烧蚀,最终可以在激光光斑面积内单次曝光实现多种超微型电容器串并联集成化制备;此方法制备效率极高、过程简单,利用这种方法制备的微型超级电容器尺寸、形状、性能、集成化形式皆灵活可调。这种单次曝光制备多个电容器集成化的方法将推动微型能源器件乃至微电子行业的发展,颠覆传统光刻加工方法,实现超高效率高性能器件集成化制造。

    一种超快激光加工制备二维材料纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN113560712B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202110803476.9

    申请日:2021-07-14

    Abstract: 本发明公开的一种超快激光加工制备二维材料纳米结构的方法,属于微纳制造领域。本发明包括如下步骤:步骤一:用镊子将天然的二维材料块体表面不平整的地方剥离掉,将其至于特定的金属盐溶液中;步骤二:将超快激光脉冲聚焦到二维材料块体表面,并进行扫描加工,控制激光脉冲的加工参数和扫描时间,得到高结晶性的二维材料核壳纳米结构。本发明的方法具有无需特殊化学环境、绿色无污染、操作简单、灵活、可控等优势。制备的纳米结构结晶性高,具有层状包覆的核壳结构。制备的纳米结构可应用于催化产氢和化学传感,具有高的催化活性和高的表面拉曼增强效果。

    一种超快激光加工制备二维材料纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN113560712A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110803476.9

    申请日:2021-07-14

    Abstract: 本发明公开的一种超快激光加工制备二维材料纳米结构的方法,属于微纳制造领域。本发明包括如下步骤:步骤一:用镊子将天然的二维材料块体表面不平整的地方剥离掉,将其至于特定的金属盐溶液中;步骤二:将超快激光脉冲聚焦到二维材料块体表面,并进行扫描加工,控制激光脉冲的加工参数和扫描时间,得到高结晶性的二维材料核壳纳米结构。本发明的方法具有无需特殊化学环境、绿色无污染、操作简单、灵活、可控等优势。制备的纳米结构结晶性高,具有层状包覆的核壳结构。制备的纳米结构可应用于催化产氢和化学传感,具有高的催化活性和高的表面拉曼增强效果。

    一种光生电子还原制备金属-二硫化钼复合结构的方法

    公开(公告)号:CN107538017B

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201710716604.X

    申请日:2017-08-21

    Inventor: 姜澜 左佩 李欣

    Abstract: 本发明涉及一种光生电子还原制备金属‑二硫化钼复合结构的方法,属于微纳米制造领域。该方法通过将二硫化钼分散液与金属盐溶液按照一定的体积比混合,并进行超声预处理。而后通过飞秒激光聚焦到混合溶液内部,并进行扫描加工,飞秒激光诱导光生电子原位还原金属阳离子,从而得到银或铂纳米颗粒‑二硫化钼复合结构。本发明的一种光生电子还原制备金属‑二硫化钼复合结构的方法,直接辐照二硫化钼和金属盐的混合溶液得到金属‑二硫化钼复合结构,具有无需特殊化学环境、无需任何化学试剂、绿色无污染、操作简单、灵活等优势。

    一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法

    公开(公告)号:CN110265228A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910465407.4

    申请日:2019-05-30

    Inventor: 姜澜 原永玖 李欣

    Abstract: 本发明涉及了一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决现有技术加工时间长,且能量密度低的问题,提供一种空间整形飞秒激光加工石墨烯基超级电容的制作方法;该方法是通过空间整形的飞秒激光一步法还原并图案化加工出还原氧化石墨烯和二氧化锰复合材料电极,该方法能实现其高能量密度和高比表面积,同时能够克服其难于微小型和集成化的缺点,也能够实现多种形状超级电容器的高效率加工。

    一种基于电子动态调控加工液体单向流动表面的方法

    公开(公告)号:CN110064846A

    公开(公告)日:2019-07-30

    申请号:CN201910331522.2

    申请日:2019-04-24

    Abstract: 本发明涉及一种基于电子动态调控加工液体单向流动表面的方法,利用等离子体扩散空间变化辅助飞秒激光双脉冲序列加工深度变化的特性,加工可使液体单向流动的光栅状表面,属于飞秒激光应用技术领域。本发明利用等离子体扩散空间变化辅助飞秒激光双脉冲序列加工深度变化的特性,加工可使液体单向流动的光栅状梯度表面。首先利用飞秒激光加工系统,采取飞秒激光双脉冲直写方式,在覆盖了倾斜透明材料的基底表面直接加工光栅结构。对比现有技术,本发明方法制备过程无需真空装置,无需改变激光能量参数,可快速加工出所需液体各向异性流动图案化表面,并具有较高的液体流动速度。

    一种基于电子动态调控增强异质分子掺杂二硫化钼的方法

    公开(公告)号:CN108862388A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201810669691.2

    申请日:2018-06-26

    Inventor: 姜澜 左佩 李欣

    Abstract: 本发明公开的一种基于电子动态调控增强异质分子掺杂二硫化钼的方法,属于微纳米制造领域。本发明包括如下步骤:步骤一:通过飞秒激光脉冲序列聚焦到置于基底表面上的单层或多层二硫化钼,并控制飞秒激光脉冲序列的加工参数和加工位置,诱导出满足预设使用需求的二硫化钼表面的程度和位置可控的缺陷态,在空气环境中,具有缺陷态/活性点的二硫化钼有效吸附空气中的氧气,得到可控被氧气分子P型掺杂的单层或多层二硫化钼;步骤二:在具有缺陷态/活性点的单层二硫化钼滴上能够实现N型掺杂的有机物/无机物/生物分子溶液,并等待自然风干,得到被有机物/无机物/生物分子N型掺杂的单层二硫化钼。本发明具有缺陷态程度和位置可控、操作简单、灵活等优点。

    基于飞秒激光电子动态调控制备表面增强拉曼基底的方法

    公开(公告)号:CN104028777B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201410283659.2

    申请日:2014-06-23

    Abstract: 本发明涉及一种基于飞秒激光电子动态调控制备表面增强拉曼基底的方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明直接使用飞秒激光照射还原硝酸银溶液制备银纳米粒子并通过改变脉冲序列中子脉冲的延时对纳米粒子的粒径分布进行调节,将加工底层纳米柱结构和还原制备银纳米粒子两个过程同时完成,克服了传统化学方法制备银纳米粒子的成本高、稳定性差的缺陷,节约了加工成本。

    一种贝塞尔激光电极材料打孔用于高性能电池的方法

    公开(公告)号:CN119627030A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411582936.X

    申请日:2024-11-07

    Abstract: 一种贝塞尔激光电极材料打孔用于高性能电池的方法,属于电极材料激光加工领域。本发明的实现方法为:采用超声喷涂仪在电极材料表面喷涂离子导电电子不导电浆料,高离子电导率使浆料在应用到电池上时可以传导锂离子,从而保持电池的优异性能;低电子电导率使其涂覆在电极上可以作为保护层吸收贝塞尔旁瓣处的能量抑制电极材料的旁瓣损伤,保留旁瓣处的电极材料,从而不影响电极的容量。采用的贝塞尔激光加工系统包括飞秒激光器、光阑、超快激光反射组、机械开关、电脑、二向色镜、贝塞尔切割头、电极材料、三维精密位移台、分束镜、白光、和CCD动态成像单元。本发明能够显著抑制贝塞尔激光在高吸收电极材料上打孔时的旁瓣损伤,提升电池的功率密度。

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