公开(公告)号：CN102963863B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201210532035.0

申请日：2012-12-11

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  张晓升 ,  孟博 ,  朱福运 ,  唐伟

IPC: B81C1/00

Abstract: 一种亲疏水性可调谐柔性碳化硅薄膜制备方法，采用优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，无需掩膜实现高密度纳米碳化硅球状阵列，极大增大表面面积体积比；同时由于优化DRIE工艺中钝化步骤在表面淀积的氟碳聚合物，极大降低表面能，则所制备碳化硅材料具有超疏水特性，静态接触角CA>160°；再通过强碱性溶液腐蚀去除硅基底，则能够实现柔性碳化硅薄膜；且由于强碱性溶液腐蚀去除表面聚合物钝化层，形成裸露高密度碳化硅尖端阵列，则所制备柔性碳化硅薄膜具有超亲水特性，静态接触角CA

公开(公告)号：CN102738300B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201210187289.3

申请日：2012-06-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  彭旭华 ,  唐伟 ,  张晓升 ,  孟博

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。

公开(公告)号：CN102738300A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210187289.3

申请日：2012-06-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  彭旭华 ,  唐伟 ,  张晓升 ,  孟博

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。

公开(公告)号：CN102062662A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201010537800.9

申请日：2010-11-05

Applicant: 北京大学

Inventor： 唐伟 ,  陈哲 ,  郑百祥 ,  刘雷 ,  张海霞

IPC: G01L9/12 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法。该压力传感器包括嵌置了CMOS处理电路的第一衬底、开有压力腔的第二衬底和两衬底之间的电容感应薄膜；该薄膜由两层PECVD SiC薄膜夹上电极组成，悬浮于压力腔上；压力腔表面覆盖有下电极；压力腔上方的第一衬底部分开有深槽，露出上层的PECVD SiC薄膜；CMOS处理电路位于深槽的旁边，并与上电极接通。该传感器以低温淀积的SiC作为感应薄膜，器件性能好且适用于腐蚀性环境。同时，本发明采用post-CMOS方法加工，实现了传感器与处理电路的集成，从而提高了器件的整体精度和稳定性。

公开(公告)号：CN1088622C

公开(公告)日：2002-08-07

申请号：CN98125037.8

申请日：1998-11-26

Applicant: 北京大学

Inventor： 朱月香 ,  谢有畅 ,  李峰 ,  唐伟 ,  唐有祺

IPC: B01J23/44

Abstract: 本发明涉及一种氧化钛-氧化铝为载体的钯催化剂及其制法和用途。属于钯催化剂领域。本发明的催化剂以氧化钛-氧化铝的复合物为载体，其活性比单独使用氧化钛或氧化铝为载体的钯催化剂催化效果好得多。此催化剂可用于氢气脱氧制高纯氢，或用于包括氮气、氩气、氦气、二氧化碳等惰性气体的除氧或脱氢，或者用于烃类加氢脱氧等。本发明的催化剂具有活性高，使用温度范围宽的优点，在低于零度时使用，仍保持高活性。

公开(公告)号：CN1255405A

公开(公告)日：2000-06-07

申请号：CN98125037.8

申请日：1998-11-26

Applicant: 北京大学

Inventor： 朱月香 ,  谢有畅 ,  李峰 ,  唐伟 ,  唐有祺

IPC: B01J23/44 ,  B01J32/00 ,  B01J37/02

Abstract: 本发明涉及一种氧化钛－氧化铝为载体的钯催化剂及其制法和用途。属于钯催化剂领域。本发明的催化剂以氧化钛—氧化铝的复合物为载体,其活性比单独使用氧化钛或氧化铝为载体的钯催化剂催化效果好得多。此催化剂可用于氢气脱氧制高纯氢,或用于包括氮气、氩气、氦气、二氧化碳等惰性气体的除氧或脱氢,或者用于烃类加氢脱氧等。本发明的催化剂具有活性高,使用温度范围宽的优点,在低于零度时使用,仍保持高活性。