有机硅树脂、树脂组合物、树脂膜、半导体器件和制造方法

    公开(公告)号:CN105566913B

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201510725622.5

    申请日:2015-10-30

    Abstract: 包含由式(1)表示的构成单元并且具有3,000‑500,000的Mw的有机硅树脂含有:10‑50wt%的(A‑1)具有10‑40wt%的有机硅含量(所述有机硅含量是合成有机硅树脂的含硅氧烷结构单元的单体在所用合成单体中占的重量分数)的第一有机硅树脂和(A‑2)具有50‑80wt%的有机硅含量(所述有机硅含量是合成有机硅树脂的含硅氧烷结构单元的单体在所用合成单体中占的重量分数)的第二有机硅树脂。包含有机硅树脂的树脂组合物能够以膜形式形成,并且其具有令人满意的对于大尺寸/薄晶片的覆盖或封装性能。树脂组合物或树脂膜确保令人满意的粘合性、低翘曲和晶片保护性。该树脂膜可用于晶片级包装。

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